ion hồ quang catốt chân khôngcoating được viết tắt là vacuum arc (hồ quang chân không).coNếu sử dụng hai hoặc nhiều nguồn bay hơi hồ quang chân không (được gọi là nguồn hồ quang), thì được gọi là ion hồ quang đa cấp.cohoặc nhiều cungcoĐây là công nghệ phủ ion chân không sử dụng phóng điện hồ quang chân không làm nguồn bay hơi. Không giống như hồ quang điện tử nóng của phóng điện catốt rỗng, dạng hồ quang của nó là sự hình thành các điểm hồ quang catốt trên bề mặt catốt lạnh.
Đặc điểm của hồ quang ion catốt chân khôngcoCác món ăn bao gồm:
(1) Nguồn bay hơi là mục tiêu catốt rắn, tạo ra plasma trực tiếp từ nguồn mục tiêu catốt mà không cần bể nóng chảy. Nguồn mục tiêu hồ quang có thể được bố trí theo bất kỳ hướng nào và nhiều nguồn để đảm bảo lớp phủ đồng đều.
(2) Cấu trúc thiết bị tương đối đơn giản, không cần khí làm việc hoặc phương pháp ion hóa phụ trợ. Nguồn mục tiêu hồ quang không chỉ là nguồn bay hơi cho vật liệu catốt mà còn là nguồn ion; Trong quá trình lắng đọng phản ứng, chỉ có khí phản ứng tồn tại và bầu khí quyển được kiểm soát bằng cách sử dụng điều khiển áp suất toàn phần đơn giản.
(3) Tỷ lệ ion hóa cao, thường đạt 60%~80%, và tỷ lệ lắng đọng cao.
(4) Năng lượng ion tới cao và lực liên kết màng/chất nền của màng được lắng đọng tốt.
(5) Sử dụng nguồn điện áp thấp để vận hành an toàn.
(6) Nó có thể lắng đọng màng kim loại, màng hợp kim, phản ứng và tổng hợp các màng hợp chất khác nhau (hợp chất amoniac, cacbua, oxit), và thậm chí tổng hợp màng DLC, màng CN, v.v. Nhược điểm của nó là trong quá trình lắng đọng, các giọt chất lỏng nhỏ li ti bị bắn ra từ bề mặt mục tiêu, ngưng tụ trong lớp màng phủ và làm tăng độ nhám của lớp màng. Hiện nay, nhiều phương pháp hiệu quả đã được nghiên cứu để giảm thiểu và loại bỏ các giọt nhỏ li ti này.
ion hồ quang chân khôngcoCông nghệ mạ đã được sử dụng rộng rãi để phủ các lớp bảo vệ siêu cứng cho dụng cụ và khuôn mẫu. Hệ thống màng bao gồm TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, v.v. Sản phẩm được phủ bao gồm dụng cụ, khuôn mẫu, v.v. Về lớp phủ bảo vệ trang trí giả vàng và màu sắc, hệ thống màng bao gồm TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, v.v. Hệ thống màng màu bao gồm đen súng, đen, tím, nâu, xanh lam, xám, v.v.
ion đa hồ quangcoLớp phủ có phạm vi ứng dụng rộng và tính thực tiễn cao, đặc biệt là trong việc phủ các lớp màng cứng chống mài mòn và trang trí lên bề mặt các vật liệu như dụng cụ cắt, khuôn mẫu và tấm thép không gỉ.
Thời gian đăng bài: 17/08/2023