የቫክዩም ካቶድ አርክ አዮን ሽፋን አጠቃላይ እይታ

የቫኩም ካቶድ አርክ አዮንcoአቲንግ እንደ ቫክዩም ቅስት በአጭሩ ይገለጻልcoአቲንግ። ሁለት ወይም ከዚያ በላይ የቫኩም ቅስት የትነት ምንጮች (እንደ አርክ ምንጮች የሚጠቀሱ) ጥቅም ላይ ከዋሉ፣ ባለብዙ ቅስት አዮን ይባላልcoአቲንግ ወይም ባለብዙ ቅስትcoአቲንግ። ለትነት ምንጮች የቫኩም ቅስት ፈሳሽን የሚጠቀም የቫኩም አዮን ሽፋን ቴክኖሎጂ ነው። ከሆሎው ካቶድ ፈሳሽ ሙቅ ኤሌክትሮን ቅስት በተለየ መልኩ፣ የቅስት ቅርፁ በቀዝቃዛው ካቶድ ወለል ላይ የካቶድ ቅስት ነጠብጣቦች መፈጠር ነው።

የቫክዩም ካቶድ አርክ አዮን ባህሪያትcoእነዚህ ናቸው፦

(1) የትነት ምንጭ ጠንካራ የካቶድ ኢላማ ሲሆን፣ የቀለጠ ገንዳ ሳያስፈልግ በቀጥታ ከካቶድ ኢላማ ምንጭ ፕላዝማ ያመነጫል። ተመሳሳይ ሽፋን እንዲኖር ለማድረግ የቅስት ኢላማ ምንጭ በማንኛውም አቅጣጫ እና በብዙ ምንጮች ሊደረደር ይችላል።

(2) የመሳሪያው መዋቅር በአንጻራዊነት ቀላል ነው፣ የሚሰራ ጋዝ ወይም ረዳት አዮኒዜሽን ዘዴዎች ሳያስፈልጉ። የአርክ ኢላማ ምንጭ ለካቶድ ቁሳቁስ የትነት ምንጭ ብቻ ሳይሆን የአዮን ምንጭም ነው፤ ምላሽ በሚሰጥ ማከማቻ ጊዜ ምላሽ ሰጪ ጋዝ ብቻ ነው ያለው፣ እና ከባቢ አየር በቀላል ሙሉ የግፊት መቆጣጠሪያ ቁጥጥር ስር ቁጥጥር ይደረግበታል።

(3) የአዮኒዜሽን መጠን ከፍተኛ ሲሆን በአጠቃላይ ከ60% እስከ 80% ይደርሳል፣ እና የማስቀመጫ መጠኑ ከፍተኛ ነው።

(4) የኢንክሽን አዮን ኢነርጂ ከፍተኛ ነው፣ እና የተቀመጠው ፊልም የፊልም/ንዑስ ክፍል ትስስር ኃይል ጥሩ ነው።

(5) ለአስተማማኝ አሠራር ዝቅተኛ ቮልቴጅ ያለው የኃይል አቅርቦት መጠቀም።

(6) የብረት ፊልሞችን፣ ቅይጥ ፊልሞችን ማስቀመጥ፣ የተለያዩ የተዋሃዱ ፊልሞችን (የአሞኒያ ውህዶች፣ ካርቦይድ፣ ኦክሳይድ) ማስቀመጥ እና ማዋሃድ እንዲሁም የዲኤልሲ ፊልሞችን፣ የሲኤን ፊልሞችን፣ ወዘተ. ማዋሃድ ይችላል። ጉዳቱ በሚከማችበት ጊዜ ከዒላማው ወለል ላይ ትናንሽ የፈሳሽ ጠብታዎች ይረጫሉ፣ ይህም በተሸፈነው የፊልም ንብርብር ውስጥ ይጠመቃል እና የፊልም ንብርብር ሸካራነትን ይጨምራል። በአሁኑ ጊዜ እነዚህን ጥቃቅን ጠብታዎች ለመቀነስ እና ለማስወገድ ብዙ ውጤታማ ዘዴዎች ጥናት ተደርጎባቸዋል።

የቫኩም ቅስት አዮንcoየኤቲንግ ቴክኖሎጂ ለመሳሪያዎችና ለሻጋታዎች እጅግ በጣም ጠንካራ የመከላከያ ሽፋኖችን ለመሸፈን በስፋት ጥቅም ላይ ውሏል። የፊልም ስርዓቶች TiN፣ ZrN፣ HfN፣ TiAIN፣ TiC፣ TiNC፣ CrN፣ Al2O3፣ DLC፣ ወዘተ ያካትታሉ። የሽፋን ምርቶች መሳሪያዎችን፣ ሻጋታዎችን ወዘተ ያካትታሉ። የወርቅ እና የቀለም ማስዋቢያ መከላከያ ሽፋኖችን በተመለከተ የፊልም ስርዓቶች TiN፣ ZrN፣ TiAIN፣ TiAINC፣ TC፣ TiNC፣ DLC፣ Ti-ON፣ TONC፣ ZrCN፣ Zr-ON፣ ወዘተ ያካትታሉ። የቀለም ፊልም ስርዓቶች ሽጉጥ ጥቁር፣ ጥቁር፣ ወይንጠጅ ቀለም፣ ቡናማ፣ ሰማያዊ አረንጓዴ ግራጫ ወዘተ ያካትታሉ።

ባለብዙ አርክ አዮንcoአቲንግ ሰፋ ያለ አፕሊኬሽኖች እና ጠንካራ ተግባራዊነት አለው፣ በተለይም እንደ የመቁረጫ መሳሪያዎች፣ ሻጋታዎች እና አይዝጌ ብረት ሳህኖች ባሉ ቁሳቁሶች ወለል ላይ የጌጣጌጥ እና የመልበስ መቋቋም የሚችሉ ጠንካራ የፊልም ንብርብሮችን በመሸፈን ረገድ።