Vakuumkathodenbogenionencoating wird als Vakuumbogen abgekürzt.coWerden zwei oder mehr Vakuumbogenverdampfungsquellen (im Folgenden als Bogenquellen bezeichnet) verwendet, spricht man von Mehrbogenionenemission.coating oder mehrfacher BogencoEs handelt sich um eine Vakuum-Ionenbeschichtungstechnologie, die Vakuumbogenentladungen als Verdampfungsquellen nutzt. Im Gegensatz zum Heißelektronenbogen der Hohlkathodenentladung besteht die Bogenform hier in der Bildung von Kathodenbogenflecken auf der Oberfläche der kalten Kathode.
Die Eigenschaften der Vakuumkathodenbogenionencoating sind:
(1) Die Verdampfungsquelle ist ein festes Kathodentarget, das direkt aus der Kathodentargetquelle Plasma erzeugt, ohne dass ein Schmelzbad erforderlich ist. Die Lichtbogentargetquelle kann in beliebiger Richtung angeordnet werden, und es können mehrere Quellen verwendet werden, um eine gleichmäßige Beschichtung zu gewährleisten.
(2) Die Anlagenstruktur ist relativ einfach und benötigt weder Arbeitsgas noch zusätzliche Ionisationsverfahren. Die Lichtbogenquelle dient nicht nur als Verdampfungsquelle für das Kathodenmaterial, sondern auch als Ionenquelle. Während der reaktiven Abscheidung ist ausschließlich Reaktionsgas vorhanden, dessen Atmosphäre über eine einfache Volldruckregelung gesteuert wird.
(3) Die Ionisierungsrate ist hoch und erreicht im Allgemeinen 60 bis 80 Prozent. Auch die Abscheidungsrate ist hoch.
(4) Die Energie der einfallenden Ionen ist hoch, und die Bindungskraft zwischen dem abgeschiedenen Film und dem Substrat ist gut.
(5) Verwendung eines Niederspannungsnetzteils für einen sicheren Betrieb.
(6) Es kann Metall- und Legierungsschichten abscheiden, verschiedene Verbundschichten (Ammoniakverbindungen, Carbide, Oxide) reagieren und synthetisieren und sogar DLC- und CN-Schichten herstellen. Ein Nachteil besteht darin, dass während der Abscheidung winzige Flüssigkeitströpfchen von der Targetoberfläche abspritzen, die in der beschichteten Schicht kondensieren und deren Rauheit erhöhen. Derzeit werden zahlreiche effektive Methoden zur Reduzierung und Beseitigung dieser Mikrotröpfchen erforscht.
VakuumbogenionencoDie Beschichtungstechnologie wird häufig zur Herstellung von hochharten Schutzschichten für Werkzeuge und Formen eingesetzt. Zu den Schichtsystemen gehören TiN, ZrN, HfN, TiAlN, TiC, TiNC, CrN, Al₂O₃, DLC usw. Beschichtungsprodukte sind unter anderem Werkzeuge und Formen. Im Bereich der dekorativen Schutzschichten mit Goldimitat und farbigen Beschichtungen kommen unter anderem folgende Schichtsysteme zum Einsatz: TiN, ZrN, TiAlN, TiAlNC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON usw. Farbige Schichtsysteme umfassen beispielsweise Gunmetal, Schwarz, Lila, Braun, Blaugrün und Grau.
MehrfachbogenionencoDie Beschichtung hat ein breites Anwendungsspektrum und eine hohe Praktikabilität, insbesondere beim Aufbringen dekorativer und verschleißfester Hartfilmschichten auf die Oberflächen von Materialien wie Schneidwerkzeugen, Formen und Edelstahlplatten.
Veröffentlichungsdatum: 17. August 2023