Vakum katot ark iyonucoating, vakum arkı olarak kısaltılır.coİki veya daha fazla vakum ark buharlaştırma kaynağı (ark kaynakları olarak adlandırılır) kullanıldığında, buna çoklu ark iyonizasyon denir.coveya çoklu yaycoVakum iyon kaplama teknolojisi, buharlaştırma kaynağı olarak vakum ark deşarjını kullanır. İçi boş katot deşarjının sıcak elektron arkından farklı olarak, ark formu soğuk katot yüzeyinde katot ark noktalarının oluşmasıdır.
Vakum katot ark iyonunun özelliklericoşunlardır:
(1) Buharlaşma kaynağı, erimiş bir havuza ihtiyaç duymadan doğrudan katot hedef kaynağından plazma üreten katı bir katot hedefidir. Ark hedef kaynağı, düzgün kaplama sağlamak için herhangi bir yönde ve birden fazla kaynak şeklinde düzenlenebilir.
(2) Ekipman yapısı nispeten basittir, çalışma gazına veya yardımcı iyonizasyon yöntemlerine ihtiyaç duyulmaz. Ark hedef kaynağı, katot malzemesi için sadece bir buharlaştırma kaynağı değil, aynı zamanda bir iyon kaynağıdır; reaktif biriktirme sırasında sadece reaktif gaz bulunur ve atmosfer basit bir tam basınç kontrolü kullanılarak kontrol edilir.
(3) İyonlaşma oranı yüksektir, genellikle %60~%80'e ulaşır ve çökelme oranı yüksektir.
(4) Gelen iyon enerjisi yüksektir ve biriktirilen filmin film/alt tabaka bağlama kuvveti iyidir.
(5) Güvenli çalışma için düşük voltajlı güç kaynağı kullanılması.
(6) Metal filmlerin, alaşım filmlerin biriktirilmesini sağlayabilir, çeşitli bileşik filmlerin (amonyak bileşikleri, karbürler, oksitler) reaksiyona girip sentezlenmesini sağlayabilir ve hatta DLC filmlerin, CN filmlerin vb. sentezlenmesini sağlayabilir. Dezavantajı ise, biriktirme sırasında hedef yüzeyden küçük sıvı damlacıklarının sıçraması ve bunların kaplanmış film tabakasında yoğunlaşarak film tabakasının pürüzlülüğünü artırmasıdır. Şu anda, bu mikro damlacıkları azaltmak ve ortadan kaldırmak için birçok etkili yöntem araştırılmaktadır.
Vakum ark iyonucoKaplama teknolojisi, aletler ve kalıplar için süper sert koruyucu kaplamalar oluşturmak amacıyla yaygın olarak kullanılmaktadır. Film sistemleri arasında TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC vb. yer almaktadır. Kaplama ürünleri arasında aletler, kalıplar vb. bulunmaktadır. Taklit altın ve renkli dekoratif koruyucu kaplamalar açısından film sistemleri arasında TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON vb. yer almaktadır. Renkli film sistemleri arasında koyu siyah, siyah, mor, kahverengi, mavi, yeşil, gri vb. bulunmaktadır.
Çoklu ark iyonucoKaplama, özellikle kesici aletler, kalıplar ve paslanmaz çelik levhalar gibi malzemelerin yüzeylerine dekoratif ve aşınmaya dayanıklı sert film tabakaları kaplamada geniş bir uygulama yelpazesine ve güçlü bir pratikliğe sahiptir.
Yayın tarihi: 17 Ağustos 2023