អ៊ីយ៉ុងធ្នូកាតូតសុញ្ញកាសcoating ត្រូវបានសរសេរជាអក្សរកាត់ថា vacuum arccoការប្រើប្រាស់។ ប្រសិនបើប្រភពហួតធ្នូសុញ្ញากาศពីរ ឬច្រើន (ហៅថាប្រភពធ្នូ) ត្រូវបានប្រើប្រាស់ វាត្រូវបានគេហៅថាអ៊ីយ៉ុងធ្នូច្រើនcoធ្នូ ឬធ្នូច្រើនcoការបញ្ចេញចំហាយ។ វាគឺជាបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងសុញ្ញากาศដែលប្រើការបញ្ចេញចរន្តអគ្គិសនីសុញ្ញากาศសម្រាប់ប្រភពហួត។ មិនដូចចរន្តអគ្គិសនីក្តៅនៃការបញ្ចេញចរន្តអគ្គិសនីកាតូតប្រហោងទេ ទម្រង់ចរន្តអគ្គិសនីរបស់វាគឺការបង្កើតចំណុចចរន្តអគ្គិសនីកាតូតនៅលើផ្ទៃនៃចរន្តអគ្គិសនីកាតូតត្រជាក់។
លក្ខណៈនៃអ៊ីយ៉ុងធ្នូកាតូតសុញ្ញកាសcoការទទួលទានគឺ៖
(1) ប្រភពហួតគឺជាគោលដៅកាតូតរឹង ដែលបង្កើតប្លាស្មាដោយផ្ទាល់ពីប្រភពគោលដៅកាតូតដោយមិនចាំបាច់មានអាងរលាយ។ ប្រភពគោលដៅធ្នូអាចត្រូវបានរៀបចំក្នុងទិសដៅណាមួយ និងប្រភពច្រើន ដើម្បីធានាបាននូវថ្នាំកូតឯកសណ្ឋាន។
(2) រចនាសម្ព័ន្ធឧបករណ៍គឺសាមញ្ញណាស់ ដោយមិនចាំបាច់ប្រើឧស្ម័នធ្វើការ ឬវិធីសាស្ត្រអ៊ីយ៉ូដជំនួយទេ។ ប្រភពគោលដៅធ្នូមិនត្រឹមតែជាប្រភពហួតសម្រាប់សម្ភារៈកាតូតប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែវាក៏ជាប្រភពអ៊ីយ៉ុងផងដែរ។ ក្នុងអំឡុងពេលដាក់បញ្ចូលប្រតិកម្ម មានតែឧស្ម័នប្រតិកម្មប៉ុណ្ណោះដែលមាន ហើយបរិយាកាសត្រូវបានគ្រប់គ្រងដោយប្រើការគ្រប់គ្រងសម្ពាធពេញលេញសាមញ្ញ។
(3) អត្រាអ៊ីយ៉ូដមានកម្រិតខ្ពស់ ជាទូទៅឡើងដល់ 60% ~ 80% ហើយអត្រានៃការដាក់សារធាតុក៏ខ្ពស់។
(4) ថាមពលអ៊ីយ៉ុងដែលកើតឡើងគឺខ្ពស់ ហើយកម្លាំងភ្ជាប់ខ្សែភាពយន្ត/ស្រទាប់ខាងក្រោមនៃខ្សែភាពយន្តដែលដាក់គឺល្អ។
(5) ការប្រើប្រាស់ការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលវ៉ុលទាបសម្រាប់ប្រតិបត្តិការប្រកបដោយសុវត្ថិភាព។
(6) វាអាចដាក់ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តលោហៈ ខ្សែភាពយន្តយ៉ាន់ស្ព័រ ប្រតិកម្ម និងសំយោគខ្សែភាពយន្តសមាសធាតុផ្សេងៗ (សមាសធាតុអាម៉ូញាក់ កាបូអ៊ីដ្រាត អុកស៊ីដ) និងថែមទាំងអាចសំយោគខ្សែភាពយន្ត DLC ខ្សែភាពយន្ត CN ជាដើម។ គុណវិបត្តិរបស់វាគឺថា ក្នុងអំឡុងពេលដាក់ស្រទាប់ ដំណក់ទឹកតូចៗនៃសារធាតុរាវត្រូវបានខ្ទាតចេញពីផ្ទៃគោលដៅ ដែលរួមតូចនៅក្នុងស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តស្រោប និងបង្កើនភាពរដុបនៃស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត។ បច្ចុប្បន្ននេះ វិធីសាស្រ្តជាច្រើនដែលមានប្រសិទ្ធភាពត្រូវបានសិក្សាដើម្បីកាត់បន្ថយ និងលុបបំបាត់ដំណក់ទឹកតូចៗទាំងនេះ។
អ៊ីយ៉ុងធ្នូសុញ្ញកាសcoបច្ចេកវិទ្យាការពារកម្ដៅត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយដើម្បីស្រោបថ្នាំកូតការពាររឹងខ្លាំងសម្រាប់ឧបករណ៍ និងផ្សិត។ ប្រព័ន្ធខ្សែភាពយន្តរួមមាន TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC ជាដើម។ ផលិតផលថ្នាំកូតរួមមានឧបករណ៍ ផ្សិត ជាដើម។ ទាក់ទងនឹងថ្នាំកូតការពារតុបតែងពណ៌មាសក្លែងក្លាយ និងពណ៌ ប្រព័ន្ធខ្សែភាពយន្តរួមមាន TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON ជាដើម។ ប្រព័ន្ធខ្សែភាពយន្តពណ៌រួមមានខ្មៅកាំភ្លើង ខ្មៅ ពណ៌ស្វាយ ត្នោត ខៀវ ប្រផេះបៃតង ជាដើម។
អ៊ីយ៉ុងពហុធ្នូcoការលាបពណ៌មានកម្មវិធីយ៉ាងទូលំទូលាយ និងការអនុវត្តជាក់ស្តែងខ្លាំង ជាពិសេសក្នុងការលាបស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តរឹងតុបតែង និងធន់នឹងការពាក់លើផ្ទៃនៃវត្ថុធាតុដើមដូចជាឧបករណ៍កាត់ ផ្សិត និងបន្ទះដែកអ៊ីណុក។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១៧ ខែសីហា ឆ្នាំ ២០២៣