Lub tshuab nqus tsev cathode arc ioncoating yog luv ua lub tshuab nqus tsev arccokev ua. Yog tias siv ob lossis ntau qhov chaw nqus tsev vacuum arc evaporation (hu ua arc sources), nws hu ua multi arc ioncoating los yog ntau arccoKev siv. Nws yog ib txoj kev siv tshuab nqus tsev ion txheej uas siv lub tshuab nqus tsev arc rau cov dej evaporation. Tsis zoo li lub electron arc kub ntawm cov cathode hollow, nws daim ntawv arc yog qhov tsim ntawm cathode arc spots rau ntawm qhov chaw ntawm cathode txias.
Cov yam ntxwv ntawm lub tshuab nqus tsev cathode arc ioncocov ntsiab lus yog:
(1) Lub qhov chaw ua kom cov pa roj av yog lub hom phiaj cathode khov kho, uas ncaj qha tsim cov plasma los ntawm lub hom phiaj cathode yam tsis tas yuav muaj pas dej ua kua. Lub hom phiaj arc tuaj yeem teeb tsa rau txhua qhov kev taw qhia thiab ntau qhov chaw kom ntseeg tau tias muaj txheej txheem sib xws.
(2) Cov qauv khoom siv yooj yim heev, tsis tas yuav siv roj ua haujlwm lossis cov txheej txheem ionization pabcuam. Lub hom phiaj arc tsis yog tsuas yog qhov chaw evaporation rau cov khoom siv cathode, tab sis kuj yog qhov chaw ion; Thaum lub sijhawm tso tawm reactive, tsuas yog cov roj reactive xwb, thiab huab cua raug tswj hwm siv kev tswj hwm siab yooj yim.
(3) Tus nqi ionization siab, feem ntau ncav cuag 60% ~ 80%, thiab tus nqi tso tawm siab.
(4) Lub zog ion teeb meem siab, thiab lub zog sib txuas ntawm zaj duab xis / substrate ntawm zaj duab xis tso tawm zoo.
(5) Siv lub zog hluav taws xob qis rau kev ua haujlwm zoo.
(6) Nws tuaj yeem tso cov yeeb yaj kiab hlau, cov yeeb yaj kiab hlau sib xyaw, ua rau muaj kev cuam tshuam thiab tsim ntau yam yeeb yaj kiab sib xyaw (ammonia compounds, carbides, oxides), thiab txawm tias tsim cov yeeb yaj kiab DLC, cov yeeb yaj kiab CN, thiab lwm yam. Nws qhov tsis zoo yog tias thaum lub sijhawm tso cov kua dej me me raug txau los ntawm qhov chaw ntawm lub hom phiaj, uas ua rau cov txheej txheej txheej txheej thiab ua rau cov txheej txheej txheej ntxhib. Tam sim no, ntau txoj hauv kev zoo tau raug kawm los txo thiab tshem tawm cov me me no.
Lub tshuab nqus tsev arc ioncoCov thev naus laus zis tau siv dav los txheej cov txheej tiv thaiv superhard rau cov cuab yeej thiab pwm. Cov txheej txheem zaj duab xis suav nrog TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, thiab lwm yam. Cov khoom txheej suav nrog cov cuab yeej, pwm, thiab lwm yam. Hais txog cov xim kub cuav thiab cov xim zoo nkauj tiv thaiv, cov txheej txheem zaj duab xis suav nrog TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, thiab lwm yam. Cov txheej txheem xim zaj duab xis suav nrog rab phom dub, dub, ntshav, xim av, xiav ntsuab grey, thiab lwm yam.
Ntau lub arc ioncoKev siv tshuaj pleev xim muaj ntau yam kev siv thiab muaj zog ua tau zoo, tshwj xeeb tshaj yog hauv kev txheej cov txheej zaj duab xis tawv uas tiv taus kev hnav ntawm cov nplaim ntawm cov ntaub ntawv xws li cov cuab yeej txiav, pwm, thiab cov phaj hlau tsis xeb.
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Yim Hli-17-2023