Ion busur katoda vakumcoating disingkat dadi busur vakumconalika. Yen rong utawa luwih sumber penguapan busur vakum (disebut sumber busur) digunakake, iki diarani ion multi busurcobusur utawa multi-busurcoiki. Iki minangka teknologi lapisan ion vakum sing nggunakake debit busur vakum kanggo sumber penguapan. Ora kaya busur elektron panas saka debit katoda berongga, bentuk busur kasebut yaiku pembentukan titik-titik busur katoda ing permukaan katoda adhem.
Karakteristik ion busur katoda vakumcoyaiku:
(1) Sumber penguapan yaiku target katoda padat, sing langsung ngasilake plasma saka sumber target katoda tanpa perlu kolam cair. Sumber target busur bisa diatur ing sembarang arah lan pirang-pirang sumber kanggo njamin lapisan sing seragam.
(2) Struktur peralatan kasebut relatif prasaja, tanpa butuh gas kerja utawa metode ionisasi tambahan. Sumber target busur ora mung sumber penguapan kanggo bahan katoda, nanging uga sumber ion; Sajrone deposisi reaktif, mung gas reaktif sing ana, lan atmosfer dikontrol nggunakake kontrol tekanan lengkap sing prasaja.
(3) Laju ionisasi dhuwur, umume tekan 60% ~ 80%, lan laju deposisi dhuwur.
(4) Energi ion sing mlebu dhuwur, lan gaya ikatan film/substrat saka film sing diendapke apik.
(5) Nggunakake catu daya voltase rendah kanggo operasi sing aman.
(6) Bisa nyimpen film logam, film paduan, reaksi lan nyintesis macem-macem film senyawa (senyawa amonia, karbida, oksida), lan malah nyintesis film DLC, film CN, lan liya-liyane. Kekurangane yaiku sajrone deposisi, tetesan cairan cilik cipratan saka permukaan target, sing ngembun ing lapisan film sing dilapisi lan nambah kekasaran lapisan film. Saiki, akeh cara efektif sing wis ditliti kanggo nyuda lan ngilangi tetesan mikro iki.
Ion busur vakumcoTeknologi pelapis wis digunakake sacara wiyar kanggo melapisi lapisan protèktif super atos kanggo piranti lan cetakan. Sistem film kalebu TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, lan liya-liyane. Produk pelapis kalebu piranti, cetakan, lan liya-liyane. Ing babagan emas imitasi lan lapisan protèktif dekoratif warna, sistem film kalebu TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, lan liya-liyane. Sistem film warna kalebu ireng bedil, ireng, ungu, coklat, biru ijo abu-abu, lan liya-liyane.
Ion multi-busurcoAting nduweni macem-macem aplikasi lan kepraktisan sing kuwat, utamane kanggo nutupi lapisan film keras dekoratif lan tahan aus ing permukaan bahan kayata alat pemotong, cetakan, lan pelat baja tahan karat.
Wektu kiriman: 17 Agustus 2023