真空陰極アークイオンコーティングの概要

真空陰極アークイオンcoatingは真空アークと略されるco2つ以上の真空アーク蒸発源（アーク源と呼ばれる）が使用される場合、マルチアークイオンと呼​​ばれる。coまたはマルチアークco真空イオンコーティング技術。蒸発源として真空アーク放電を用いる。ホローカソード放電のホットエレクトロンアークとは異なり、そのアーク形状は冷陰極表面に陰極アークスポットを形成する。

真空陰極アークイオンの特性coatingは次のとおりです。

（1）蒸発源は固体陰極ターゲットであり、溶融池を必要とせず、陰極ターゲット源から直接プラズマを生成します。アークターゲット源は任意の方向に配置でき、複数のターゲット源を使用することで均一なコーティングを確保します。

（2）装置構造は比較的シンプルで、作動ガスや補助的なイオン化法を必要としません。アークターゲット源は陰極材料の蒸発源であるだけでなく、イオン源としても機能します。反応性堆積中は反応性ガスのみが存在し、雰囲気は簡単な全圧制御によって制御されます。

（３）イオン化率が高く、一般に60％～80％に達し、沈着率も高い。

（４）入射イオンエネルギーが高く、堆積した膜の膜／基板結合力が良好である。

（５）安全な操作のために低電圧電源を使用する。

（6）金属膜、合金膜の堆積、各種複合膜（アンモニア化合物、炭化物、酸化物）の反応・合成、さらにはDLC膜、CN膜などの合成が可能です。欠点は、堆積時にターゲット表面から微小な液滴が飛散し、コーティングされた膜層内で凝縮して膜層の粗さを増加させることです。現在、これらの微小液滴を低減・除去するための効果的な方法が数多く研究されています。

真空アークイオンcoコーティング技術は、工具や金型への超硬質保護コーティングに広く利用されています。コーティングシステムには、TiN、ZrN、HfN、TiAlN、TiC、TiNC、CrN、Al2O3、DLCなどがあります。コーティング製品には、工具、金型などがあります。金色や着色装飾保護コーティングに関しては、TiN、ZrN、TiAlN、TiAINC、TC、TiNC、DLC、Ti-ON、TONC、ZrCN、Zr-ONなどがあります。着色コーティングシステムには、ガンブラック、ブラック、パープル、ブラウン、ブルー、グリーングレーなどがあります。

マルチアークイオンcoコーティングは幅広い用途と高い実用性を備えており、特に切削工具、金型、ステンレス鋼板などの材料の表面に装飾性と耐摩耗性を備えた硬質フィルム層をコーティングする際に使用されます。