RCW600

סדרת ציוד זו משתמשת במטרות מגנטרון כדי להמיר חומרי ציפוי לחלקיקים בגודל ננומטרי, אשר מופקדים על פני השטח של מצעים ליצירת שכבות דקות. הסרט המגולגל ממוקם בתא הוואקום. דרך מבנה הליפוף המונע חשמלית, קצה אחד מקבל את הסרט והשני מכניס את הסרט. הוא ממשיך לעבור דרך אזור המטרה וקולט את חלקיקי המטרה ליצירת שכבה צפופה.
מְאַפיֵן:

1. יצירת שכבה בטמפרטורה נמוכה. לטמפרטורה יש השפעה מועטה על השכבה והיא לא תגרום לעיוות. מתאים לשכבות סליל מ-PET, PI וחומרי בסיס אחרים.
2. ניתן לתכנן את עובי השכבה. ניתן לתכנן ולמרוח ציפויים דקים או עבים באמצעות התאמת תהליך.
3. תכנון של מיקומי מטרות מרובים, תהליך גמיש. ניתן לצייד את כל המכונה בשמונה מטרות, בהן ניתן להשתמש כמטרות מתכת פשוטות או כמטרות מורכבות ותחמוצת. ניתן להשתמש בה להכנת סרטים חד-שכבתיים בעלי מבנה יחיד או סרטים רב-שכבתיים בעלי מבנה מרוכב. התהליך גמיש מאוד.

הציוד יכול להכין סרט מגן אלקטרומגנטי, ציפוי מעגלים גמיש, סרטים דיאלקטריים שונים, סרט רב שכבתי נגד השתקפות AR, סרט רב שכבתי נגד השתקפות גבוהה HR, סרט צבעוני וכו'. לציוד מגוון רחב מאוד של יישומים, וניתן להשלים שקיעת סרט בשכבה אחת על ידי שקיעת סרט חד פעמית.
הציוד יכול לאמץ מטרות מתכת פשוטות כגון Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl וכו', או מטרות מורכבות כגון SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO וכו'.

הציוד קטן בגודלו, בעל מבנה קומפקטי, שטח רצפה קטן, צריכת אנרגיה נמוכה וגמיש בהתאמה. הוא מתאים מאוד למחקר ופיתוח תהליכים או לייצור המוני בכמויות קטנות.