RCW600

Þessi búnaður notar segulmagnaða skotmörk til að umbreyta húðunarefnum í nanómetra-stórar agnir, sem eru settar á yfirborð undirlagsins til að mynda þunnar filmur. Rúllaða filman er sett í lofttæmishólfið. Í gegnum rafknúna vafningsbyggingu tekur annar endinn við filmunni og hinn setur hana inn. Hún heldur áfram að fara í gegnum marksvæðið og tekur við agnunum til að mynda þétta filmu.
Einkenni:

1. Filmumyndun við lágt hitastig. Hitastigið hefur lítil áhrif á filmuna og veldur ekki aflögun. Það hentar fyrir PET, PI og önnur grunnefnis spólufilmur.
2. Hægt er að aðlaga þykkt filmunnar. Hægt er að aðlaga ferlið hvort um þunnar eða þykkar húðanir sé að ræða.
3. Hönnun með mörgum staðsetningum fyrir skotmörk, sveigjanlegt ferli. Hægt er að útbúa alla vélina með átta skotmörkum, sem hægt er að nota annað hvort sem einföld málm- eða efna- og oxíðskotmörk. Hana er hægt að nota til að búa til einlagsfilmur með einni uppbyggingu eða marglaga filmur með samsettri uppbyggingu. Ferlið er mjög sveigjanlegt.

Búnaðurinn getur útbúið rafsegulhlífarfilmu, sveigjanlega rafrásarplötuhúðun, ýmsar rafskautsfilmur, marglaga AR-speglunarvörnfilmu, HR-speglunarvörnfilmu með mikilli spennu, litfilmu o.s.frv. Búnaðurinn hefur mjög fjölbreytt notkunarsvið og hægt er að ljúka einlagsfilmuútfellingu með einu sinni.
Búnaðurinn getur notað einföld málmmarkmið eins og Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, o.s.frv., eða samsett skotmörk eins og SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, o.s.frv.

Búnaðurinn er lítill að stærð, með þéttri uppbyggingu, með lítið gólfflöt, lága orkunotkun og sveigjanlegan stillingu. Hann hentar mjög vel fyrir rannsóknir og þróun ferla eða fjöldaframleiðslu í litlum lotum.