Í samanburði við aðrar húðunartækni hefur spúttunarhúðun eftirfarandi mikilvæga eiginleika: vinnubreyturnar hafa stórt breytilegt stillingarsvið, auðvelt er að stjórna hraði og þykkt húðunarinnar (ástand húðunarsvæðisins) og engar hönnunartakmarkanir eru á rúmfræði spúttunarmarksins til að tryggja einsleitni húðunarinnar; Filmulagið á ekki við vandamál að stríða dropamyndunum: næstum öll málma, málmblöndur og keramikefni er hægt að búa til markefni; Með jafnstraums- eða RF-spúttingu er hægt að búa til hreina málm- eða málmblönduhúðun með nákvæmum og stöðugum hlutföllum og málmviðbragðsfilmur með þátttöku gass til að uppfylla fjölbreyttar og nákvæmar kröfur filmu. Dæmigerðar ferlisbreytur spúttunarhúðunar eru: vinnuþrýstingur er 0,1 Pa; markspennan er 300 ~ 700 V og markaflþéttleiki er 1 ~ 36 W / cm2. Sérstakir eiginleikar spúttunar eru:
(1) Mikil útfellingarhraði. Vegna notkunar rafskauta er hægt að fá mjög stóra jónastrauma sem sprengja skotmarkið, þannig að spúttunar-etsunarhraðinn á yfirborði skotmarksins og filmuútfellingarhraðinn á yfirborði undirlagsins er mikill.
(2) Mikil orkunýtni. Líkur á árekstri milli lágorku rafeinda og gasatóma eru miklar, þannig að jónunarhraði gassins eykst verulega. Þar af leiðandi minnkar viðnám útblástursgassins (eða plasmasins) verulega. Þess vegna, samanborið við tvípóla jafnstraumsspúttrun, jafnvel þótt vinnuþrýstingurinn minnki úr 1~10Pa í 10-2~10-1Pa, minnkar spúttunarspennan úr nokkrum þúsundum volta í hundruð volta, og spúttunarnýtnin og útfellingarhraðinn aukast um margar stærðargráður.
(3) Lágorkuspútrun. Vegna lágrar katóðuspennu sem beitt er á skotmarkið er plasmað bundið í rýminu nálægt katóðunni með segulsviði, sem hindrar að orkumiklar hlaðnar agnir berist til hliðar undirlagsins. Þess vegna er tjónið sem hlýst af sprengingu hlaðinna agna á undirlag eins og hálfleiðara minni en með öðrum spútrunaraðferðum.
–Þessi grein er gefin út afframleiðandi tómarúmhúðunarvélaGuangdong Zhenhua.
Birtingartími: 8. september 2023