Akụkụ nke ihe mkpuchi magnetron sputtering isi 1

E jiri ya tụnyere teknụzụ mkpuchi ndị ọzọ, mkpuchi sputtering nwere ihe ndị a dị ịrịba ama: ihe ndị na-arụ ọrụ nwere nnukwu mgbanwe mgbanwe dị ike, mkpuchi mkpuchi ọsọ ọsọ na ọkpụrụkpụ (ọnọdụ nke mkpuchi mkpuchi) dị mfe ịchịkwa, ọ dịghịkwa ihe mgbochi imewe na geometry nke sputtering lekwasịrị anya iji hụ na ịdị n'otu nke mkpuchi ahụ; Igwe ihe nkiri ahụ enweghị nsogbu nke ụmụ irighiri mmiri: ihe fọrọ nke nta ka ọ bụrụ ọla niile, alloys na seramiiki nwere ike ime ka ọ bụrụ ihe e lekwasịrị anya; Site DC ma ọ bụ RF sputtering, metal dị ọcha ma ọ bụ alloy mkpuchi nwere oke na nha anya na ihe nkiri mmeghachi omume igwe na nsonye gas nwere ike ime ya iji zute ihe dị iche iche na nke ziri ezi nke ihe nkiri. The ahụkarị usoro parameters nke sputtering mkpuchi bụ: arụ ọrụ nrụgide bụ 01Pa; Voltage e lekwasịrị anya bụ 300 ~ 700V, yana njupụta ike ebumnuche bụ 1 ~ 36W / cm2. Njirimara ndị akọwapụtara nke sputtering bụ:

(1) Ọnụ ego nkwụnye ego dị elu. N'ihi ojiji nke electrodes, a pụrụ inweta nnọọ nnukwu ebumnuche bombardment ion iyi, otú sputtering etching ọnụego n'elu lekwasịrị n'elu na ihe nkiri ntinye ego n'elu ala dị elu.

(2) Ịrụ ọrụ ike dị elu. Ihe gbasara nke puru omume nke nkukota n'etiti eletrọns na-adighi ike na atom gas di elu, ya mere onu ogugu gas na-abawanye nke ukwuu. N'otu aka ahụ, mgbochi nke gas na-apụ apụ (ma ọ bụ plasma) na-ebelata nke ukwuu. Ya mere, tụnyere DC abụọ-pole sputtering, ọbụna ma ọ bụrụ na arụ ọrụ nrụgide na-ebelata si 1 ~ 10Pa ka 10-2 ~ 10-1Pa, na sputtering voltaji na-ebelata si ọtụtụ puku volts na narị volts, na sputtering arụmọrụ na deposition ọnụego na-abawanye site n'iwu nke ịdị ukwuu.

(3) Mgbasa ike dị ala. N'ihi obere voltaji cathode na-etinye aka na ihe mgbaru ọsọ, a na-ejikọta plasma na oghere dị nso na cathode site na magnetik, nke na-egbochi ihe omume nke ike dị elu n'akụkụ akụkụ nke mkpụrụ. Ya mere, ogo mmebi nke ogbunigwe nke ebubo ebubo na ihe ndị dị ka ngwaọrụ semiconductor dị ala karịa nke ụzọ mgbasa ozi ndị ọzọ.

–E wepụtara akụkọ aonye na-emepụta igwe mkpuchi ikukuGuangdong Zhenhua.