RCW600

Ez a berendezéssorozat magnetron célpontokat használ a bevonóanyagok nanométer méretű részecskékké alakítására, amelyeket a hordozók felületére raknak le vékony filmeket képezve. A feltekert fóliát vákuumkamrába helyezik. Az elektromosan hajtott tekercselő szerkezeten keresztül az egyik vége fogadja a fóliát, a másik vége pedig ráhelyezi azt. Továbbhalad a célterületen, és befogadja a célrészecskéket, sűrű filmet képezve.
Jellegzetes:

1. Alacsony hőmérsékletű filmképzés. A hőmérsékletnek csekély hatása van a fóliára, és nem okoz deformációt. Alkalmas PET, PI és más alapanyagú tekercsfóliákhoz.
2. A filmvastagság tervezhető. Vékony vagy vastag bevonatok tervezhetők és lerakhatók a folyamat beállításával.
3. Többcélú elhelyezésű kialakítás, rugalmas folyamat. A teljes gép nyolc célponttal szerelhető fel, amelyek egyszerű fémcélpontként vagy összetett és oxid célpontként is használhatók. Használható egyrétegű filmek egyetlen szerkezettel vagy többrétegű filmek kompozit szerkezettel történő előállítására. Az eljárás nagyon rugalmas.

A berendezés képes elektromágneses árnyékoló fólia, rugalmas áramköri bevonat, különféle dielektromos fóliák, többrétegű AR visszaverődésgátló fólia, HR nagy visszaverődésgátló fólia, színes fólia stb. előállítására. A berendezés nagyon széles körben alkalmazható, és az egyrétegű fólialerakódás egyszeri fólialerakással is elvégezhető.
A berendezés képes egyszerű fémcéltárgyakat, például Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl stb., vagy összetett céltárgyakat, például SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO stb. alkalmazni.

A berendezés kis méretű, kompakt szerkezeti kialakítású, kis alapterületű, alacsony energiafogyasztású és rugalmasan állítható. Kiválóan alkalmas folyamatkutatásra és -fejlesztésre, illetve kis tételű tömegtermelésre.