Más bevonási technológiákkal összehasonlítva a porlasztásos bevonatolás a következő jelentős tulajdonságokkal rendelkezik: a munkaparaméterek nagy dinamikus beállítási tartománnyal rendelkeznek, a bevonat lerakódási sebessége és vastagsága (a bevonatfelület állapota) könnyen szabályozható, és a porlasztási céltárgy geometriájára vonatkozóan nincsenek tervezési korlátozások a bevonat egyenletességének biztosítása érdekében; A filmréteg nem okoz csepprészecskéket: szinte minden fém, ötvözet és kerámia anyag céltárgyanyaggá alakítható; DC vagy RF porlasztással tiszta fém- vagy ötvözetbevonatok pontos és állandó arányokkal, valamint gáz részvételével készült fémreakciós filmek hozhatók létre, amelyek megfelelnek a filmekkel szemben támasztott változatos és nagy pontosságú követelményeknek. A porlasztásos bevonatolás tipikus folyamatparaméterei: az üzemi nyomás 01 Pa; a célfeszültség 300~700V, a célteljesítmény-sűrűség pedig 1~36W/cm2. A porlasztás sajátos jellemzői:
(1) Magas lerakódási sebesség. Az elektródák használatának köszönhetően nagyon nagy célpontbombázási ionáramok érhetők el, így a célpont felületén a porlasztásos maratási sebesség és az aljzat felületén a film lerakódási sebessége magas.
(2) Nagy energiahatékonyság. Az alacsony energiájú elektronok és a gázatomok ütközésének valószínűsége magas, így a gázionizációs sebesség jelentősen megnő. Ennek megfelelően a kisülési gáz (vagy plazma) impedanciája jelentősen csökken. Ezért az egyenáramú kétpólusú porlasztáshoz képest, még ha az üzemi nyomást 1~10Pa-ról 10⁻²~10⁻¹Pa-ra csökkentik is, a porlasztási feszültség több ezer voltról több száz voltra csökken, és a porlasztási hatékonyság és a lerakódási sebesség nagyságrendekkel nő.
(3) Alacsony energiájú porlasztás. A céltárgyra alkalmazott alacsony katódfeszültség miatt a plazmát a katód közelében lévő térben egy mágneses mező köti meg, ami megakadályozza a nagy energiájú töltéssel rendelkező részecskék bejutását az aljzat oldalára. Ezért a töltött részecskék bombázása által okozott károsodás mértéke az aljzatokon, például a félvezető eszközökön, kisebb, mint más porlasztási módszereknél.
– Ezt a cikket a következő tette közzé:vákuumbevonó gép gyártóGuangdong Zhenhua.
Közzététel ideje: 2023. szeptember 8.