Konpare ak lòt teknoloji kouch, kouch pulverizasyon gen karakteristik enpòtan sa yo: paramèt travay yo gen yon gwo ranje ajisteman dinamik, vitès depo kouch la ak epesè (eta zòn kouch la) fasil pou kontwole, epi pa gen okenn restriksyon konsepsyon sou jeyometri sib pulverizasyon an pou asire inifòmite kouch la; Kouch fim nan pa gen pwoblèm patikil gout: prèske tout metal, alyaj ak materyèl seramik yo ka fèt an materyèl sib; Pa pulverizasyon DC oswa RF, metal pi oswa kouch alyaj ak pwopòsyon egzak ak konstan ak fim reyaksyon metal ak patisipasyon gaz ka pwodui pou satisfè egzijans divès ak presizyon fim yo. Paramèt pwosesis tipik kouch pulverizasyon yo se: presyon travay la se 01Pa; Vòltaj sib la se 300 ~ 700V, ak dansite pouvwa sib la se 1 ~ 36W / cm2. Karakteristik espesifik pulverizasyon yo se:
(1) To depozisyon ki wo. Gras a itilizasyon elektwòd, yo ka jwenn kouran iyon bonbadman sib ki wo anpil, kidonk to grave pa pulverizasyon sou sifas sib la ak to depozisyon fim sou sifas substrat la wo anpil.
(2) Segondè efikasite enèji. Pwobabilite pou gen kolizyon ant elektwon ki gen ti enèji ak atòm gaz yo wo, kidonk to iyonizasyon gaz la ogmante anpil. An konsekans, enpedans gaz egzeyat la (oswa plasma) redwi anpil. Kidonk, konpare ak pulverizasyon de pòl DC, menm si presyon travay la redwi soti nan 1 ~ 10Pa pou rive nan 10-2 ~ 10-1Pa, vòltaj pulverizasyon an redwi soti nan plizyè milye vòlt pou rive nan plizyè santèn vòlt, epi efikasite pulverizasyon an ak to depo a ogmante pa lòd mayitid.
(3) Pulverizasyon ki pa mande anpil enèji. Akòz vòltaj katod ki ba a ki aplike sou sib la, plasma a mare nan espas ki toupre katod la pa yon chan mayetik, ki anpeche patikil chaje ki gen anpil enèji rive sou kote substrat la. Se poutèt sa, degre domaj ki koze pa bonbadman patikil chaje yo sou substrat tankou aparèy semi-kondiktè yo pi ba pase lòt metòd pulverizasyon yo.
–Atik sa a pibliye pamanifakti machin kouch vakyòmGuangdong Zhenhua.
Dat piblikasyon: 8 septanm 2023