Ova serija opreme koristi magnetronske mete za pretvaranje materijala premaza u nanočestice veličine nanometara, koje se talože na površini podloga i formiraju tanke filmove. Namotani film se postavlja u vakuumsku komoru. Kroz električno pokretanu strukturu namotavanja, jedan kraj prima film, a drugi ga postavlja. Nastavlja prolaziti kroz ciljno područje i prima ciljne čestice kako bi se formirao gusti film.
Karakteristika:
1. Formiranje filma na niskim temperaturama. Temperatura ima mali utjecaj na film i neće uzrokovati deformacije. Pogodno je za PET, PI i druge osnovne materijale za oblikovanje filmova.
2. Debljina filma može se projektirati. Tanki ili debeli premazi mogu se projektirati i nanositi podešavanjem procesa.
3. Dizajn s više lokacija meta, fleksibilan proces. Cijeli stroj može biti opremljen s osam meta, koje se mogu koristiti kao jednostavne metalne mete ili kao složene i oksidne mete. Može se koristiti za pripremu jednoslojnih filmova s jednostrukom strukturom ili višeslojnih filmova s kompozitnom strukturom. Proces je vrlo fleksibilan.
Oprema može pripremiti elektromagnetski zaštitni film, fleksibilni premaz za tiskane ploče, razne dielektrične filmove, višeslojni AR antirefleksni film, HR visoko antirefleksni film, film u boji itd. Oprema ima vrlo širok raspon primjena, a jednoslojno nanošenje filma može se dovršiti jednokratnim nanošenjem filma.
Oprema može koristiti jednostavne metalne mete poput Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl itd. ili složene mete poput SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO itd.
Oprema je malih dimenzija, kompaktne strukture, male površine, niske potrošnje energije i fleksibilna u podešavanju. Vrlo je prikladna za istraživanje i razvoj procesa ili masovnu proizvodnju malih serija.