U usporedbi s drugim tehnologijama premazivanja, raspršivanje ima sljedeće značajne karakteristike: radni parametri imaju veliki dinamički raspon podešavanja, brzina i debljina premaza (stanje područja premaza) lako se kontroliraju, a ne postoje dizajnerska ograničenja geometrije mete za raspršivanje kako bi se osigurala ujednačenost premaza; Sloj filma nema problem čestica kapljica: gotovo svi metali, legure i keramički materijali mogu se pretvoriti u materijale za mete; DC ili RF raspršivanjem mogu se generirati premazi od čistog metala ili legure s preciznim i konstantnim omjerima te filmovi reakcije metala s sudjelovanjem plina kako bi se zadovoljili raznoliki i visokoprecizni zahtjevi za filmove. Tipični procesni parametri raspršivanja su: radni tlak je 0,1 Pa; napon mete je 300~700 V, a gustoća snage mete je 1~36 W/cm2. Specifične karakteristike raspršivanja su:
(1) Visoka brzina taloženja. Zbog upotrebe elektroda mogu se postići vrlo velike ionske struje bombardiranja mete, pa su brzina raspršivanja i jetkanja na površini mete i brzina taloženja filma na površini podloge visoke.
(2) Visoka energetska učinkovitost. Vjerojatnost sudara između niskoenergetskih elektrona i atoma plina je visoka, pa se brzina ionizacije plina znatno povećava. Sukladno tome, impedancija izbojnog plina (ili plazme) znatno se smanjuje. Stoga, u usporedbi s istosmjernim dvopolnim raspršivanjem, čak i ako se radni tlak smanji s 1~10 Pa na 10⁻²~10⁻¹ Pa, napon raspršivanja smanjuje se s nekoliko tisuća volti na stotine volti, a učinkovitost raspršivanja i brzina taloženja povećavaju se za redove veličine.
(3) Raspršivanje niske energije. Zbog niskog napona katode primijenjenog na metu, plazma je vezana u prostoru blizu katode magnetskim poljem, koje inhibira pojavu visokoenergetskih nabijenih čestica na stranu podloge. Stoga je stupanj oštećenja uzrokovan bombardiranjem nabijenih čestica na podloge poput poluvodičkih uređaja niži nego kod drugih metoda raspršivanja.
–Ovaj članak objavljujeproizvođač strojeva za vakuumsko premazivanjeGuangdong Zhenhua.
Vrijeme objave: 08.09.2023.