આ શ્રેણીના સાધનો મેગ્નેટ્રોન લક્ષ્યોનો ઉપયોગ કોટિંગ સામગ્રીને નેનોમીટર કદના કણોમાં રૂપાંતરિત કરવા માટે કરે છે, જે પાતળા ફિલ્મ બનાવવા માટે સબસ્ટ્રેટની સપાટી પર જમા થાય છે. રોલેડ ફિલ્મ વેક્યુમ ચેમ્બરમાં મૂકવામાં આવે છે. ઇલેક્ટ્રિકલી સંચાલિત વિન્ડિંગ સ્ટ્રક્ચર દ્વારા, એક છેડો ફિલ્મ મેળવે છે અને બીજો ફિલ્મ મૂકે છે. તે લક્ષ્ય વિસ્તારમાંથી પસાર થવાનું ચાલુ રાખે છે અને ગાઢ ફિલ્મ બનાવવા માટે લક્ષ્ય કણો પ્રાપ્ત કરે છે.
લાક્ષણિકતા:
1. નીચા તાપમાને ફિલ્મ બનાવવી. તાપમાનની ફિલ્મ પર ઓછી અસર પડે છે અને તે વિકૃતિ પેદા કરશે નહીં. તે PET, PI અને અન્ય બેઝ મટિરિયલ કોઇલ ફિલ્મ માટે યોગ્ય છે.
2. ફિલ્મની જાડાઈ ડિઝાઇન કરી શકાય છે. પ્રક્રિયા ગોઠવણ દ્વારા પાતળા અથવા જાડા કોટિંગ્સ ડિઝાઇન અને જમા કરી શકાય છે.
3. બહુવિધ લક્ષ્ય સ્થાન ડિઝાઇન, લવચીક પ્રક્રિયા. આખું મશીન આઠ લક્ષ્યોથી સજ્જ થઈ શકે છે, જેનો ઉપયોગ સરળ ધાતુ લક્ષ્યો અથવા સંયોજન અને ઓક્સાઇડ લક્ષ્યો તરીકે થઈ શકે છે. તેનો ઉપયોગ સિંગલ સ્ટ્રક્ચર સાથે સિંગલ-લેયર ફિલ્મો અથવા સંયુક્ત માળખા સાથે મલ્ટિ-લેયર ફિલ્મો તૈયાર કરવા માટે થઈ શકે છે. પ્રક્રિયા ખૂબ જ લવચીક છે.
આ સાધનો ઇલેક્ટ્રોમેગ્નેટિક શિલ્ડિંગ ફિલ્મ, ફ્લેક્સિબલ સર્કિટ બોર્ડ કોટિંગ, વિવિધ ડાઇલેક્ટ્રિક ફિલ્મો, મલ્ટી-લેયર એઆર એન્ટિરિફ્લેક્શન ફિલ્મ, એચઆર હાઇ એન્ટિરિફ્લેક્શન ફિલ્મ, કલર ફિલ્મ વગેરે તૈયાર કરી શકે છે. આ સાધનોમાં એપ્લિકેશનોની ખૂબ જ વિશાળ શ્રેણી છે, અને સિંગલ-લેયર ફિલ્મ ડિપોઝિશન એક વખતની ફિલ્મ ડિપોઝિશન દ્વારા પૂર્ણ કરી શકાય છે.
આ સાધનો Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, વગેરે જેવા સરળ ધાતુ લક્ષ્યો અથવા SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, વગેરે જેવા સંયોજન લક્ષ્યોને અપનાવી શકે છે.
આ સાધનો કદમાં નાના, માળખાકીય ડિઝાઇનમાં કોમ્પેક્ટ, ફ્લોર એરિયામાં નાના, ઉર્જા વપરાશમાં ઓછા અને ગોઠવણમાં લવચીક છે. તે પ્રક્રિયા સંશોધન અને વિકાસ અથવા નાના બેચ માસ ઉત્પાદન માટે ખૂબ જ યોગ્ય છે.