I gcomparáid le teicneolaíochtaí sciath eile, tá na gnéithe suntasacha seo a leanas ag sciath spútartha: tá raon coigeartaithe dinimiciúil mór ag na paraiméadair oibre, is furasta luas agus tiús an taiscthe sciath (stádas an limistéir sciath) a rialú, agus níl aon srianta dearaidh ar gheoiméadracht an sprice spútartha chun aonfhoirmeacht an sciath a chinntiú; Níl fadhb na gcáithníní braoiníní ag an tsraith scannáin: is féidir beagnach gach miotal, cóimhiotal agus ábhar ceirmeach a dhéanamh ina n-ábhair sprice; Trí spútartha DC nó RF, is féidir sciatha miotail íon nó cóimhiotail le comhréireanna beachta agus tairiseacha agus scannáin imoibrithe miotail le rannpháirtíocht gáis a ghiniúint chun freastal ar riachtanais éagsúla agus ardchruinneas na scannán. Is iad seo a leanas na paraiméadair phróisis tipiciúla de sciath spútartha: is é 01Pa an brú oibre; Is é 300 ~ 700V an voltas sprice, agus is é 1 ~ 36W / cm2 an dlús cumhachta sprice. Is iad seo a leanas tréithe sonracha an spútartha:
(1) Ráta ard taiscthe. Mar gheall ar úsáid leictreoidí, is féidir sruthanna ian buamála sprice an-mhóra a fháil, mar sin tá an ráta greanta spútartha ar dhromchla na sprice agus an ráta taiscthe scannáin ar dhromchla an tsubstráit ard.
(2) Éifeachtúlacht ardchumhachta. Tá dóchúlacht imbhuailte idir leictreoin ísealfhuinnimh agus adaimh gháis ard, mar sin méadaítear an ráta ianúcháin gáis go mór. Dá réir sin, laghdaítear impedance an gháis urscaoilte (nó an plasma) go mór. Dá bhrí sin, i gcomparáid le spútaráil dhá phol DC, fiú má laghdaítear an brú oibre ó 1 ~ 10 Pa go 10-2 ~ 10-1 Pa, laghdaítear an voltas spútarála ó roinnt mílte volta go dtí na céadta volta, agus méadaíonn an éifeachtúlacht spútarála agus an ráta taiscthe de réir orduithe méide.
(3) Spútaráil ísealfhuinnimh. Mar gheall ar an voltas íseal catóide a chuirtear i bhfeidhm ar an sprioc, tá an plasma ceangailte sa spás in aice leis an gcatóid le réimse maighnéadach, rud a chuireann cosc ar theacht cáithníní luchtaithe ardfhuinnimh ar thaobh an tsubstráit. Dá bhrí sin, tá an méid damáiste a dhéantar de bharr buamáil cáithníní luchtaithe ar shubstráití amhail gléasanna leathsheoltóra níos ísle ná an méid damáiste a dhéantar le modhanna spútarála eile.
–Tá an t-alt seo eisithe agmonaróir meaisín sciath folúisGuangdong Zhenhua.
Am an phoist: 8 Meán Fómhair 2023