Dizze searje apparatuer brûkt magnetron-doelen om coatingmaterialen om te setten yn nanometergrutte dieltsjes, dy't op it oerflak fan substraten ôfset wurde om tinne films te foarmjen. De rôle film wurdt yn 'e fakuümkeamer pleatst. Troch de elektrysk oandreaune wikkelstruktuer ûntfangt it iene ein de film en it oare ein leit de film deryn. It giet troch it doelgebiet hinne en ûntfangt de doeldieltsjes om in tichte film te foarmjen.
Karakteristyk:
1. Filmfoarming by lege temperatuer. De temperatuer hat in bytsje ynfloed op 'e film en sil gjin deformaasje feroarsaakje. It is geskikt foar PET-, PI- en oare basismateriaal-spoelfilms.
2. De filmdikte kin ûntwurpen wurde. Tinne of dikke coatings kinne ûntwurpen en ôfset wurde troch prosesoanpassing.
3. Untwerp foar meardere doellokaasjes, fleksibel proses. De hiele masine kin útrisd wurde mei acht doelen, dy't brûkt wurde kinne as ienfâldige metalen doelen of gearstalde en okside doelen. It kin brûkt wurde om ienlaachfilms mei ien struktuer of mearlaachfilms mei gearstalde struktuer te meitsjen. It proses is tige fleksibel.
De apparatuer kin elektromagnetyske ôfskermingsfilm, fleksibele printplaatcoating, ferskate diëlektryske films, mearlaachse AR-antyrefleksjefilm, HR-hege-antyrefleksjefilm, kleurenfilm, ensfh. tariede. De apparatuer hat in heul breed skala oan tapassingen, en ienlaachse filmôfsetting kin wurde foltôge troch ienmalige filmôfsetting.
De apparatuer kin ienfâldige metalen doelen oannimme lykas Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, ensfh., of gearstalde doelen lykas SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, ensfh.
De apparatuer is lyts fan grutte, kompakt fan struktuerûntwerp, lyts yn flierromte, leech yn enerzjyferbrûk, en fleksibel yn oanpassing. It is tige geskikt foar prosesûndersyk en ûntwikkeling of massaproduksje yn lytse batches.