Yn ferliking mei oare coatingtechnologyen hat sputtercoating de folgjende wichtige skaaimerken: de wurkparameters hawwe in grut dynamysk oanpassingsberik, de coatingôfsettingssnelheid en dikte (de steat fan it coatinggebiet) binne maklik te kontrolearjen, en d'r binne gjin ûntwerpbeperkingen op 'e geometry fan it sputterdoel om de uniformiteit fan' e coating te garandearjen; De filmlaach hat it probleem fan dripdieltsjes net: hast alle metalen, legearingen en keramyske materialen kinne wurde makke yn doelmaterialen; Troch DC- of RF-sputtering kinne suvere metaal- of legearingcoatings mei krekte en konstante proporsjes en metaalreaksjefilms mei gasdielname generearre wurde om te foldwaan oan 'e ferskate en hege-presyzje-easken fan films. De typyske prosesparameters fan sputtercoating binne: de wurkdruk is 0,1 Pa; De doelspanning is 300 ~ 700V, en de doelkrêftdichtheid is 1 ~ 36W / cm2. De spesifike skaaimerken fan sputtering binne:
(1) Hege ôfsettingssnelheid. Troch it gebrûk fan elektroden kinne tige grutte doelbombardemint-ionstreamen krigen wurde, sadat de sputter-etssnelheid op it doeloerflak en de filmôfsettingssnelheid op it substraatoerflak heech binne.
(2) Hege enerzjy-effisjinsje. De kâns op botsing tusken elektroanen mei lege enerzjy en gasatomen is heech, sadat de gasionisaasjesnelheid sterk tanimt. Oerienkomstich wurdt de impedânsje fan it ûntladingsgas (of plasma) sterk fermindere. Dêrom, yn ferliking mei DC twapolige sputtering, sels as de wurkdruk wurdt fermindere fan 1 ~ 10 Pa nei 10-2 ~ 10-1 Pa, wurdt de sputterspanning fermindere fan ferskate tûzenen volt nei hûnderten volt, en de sputtereffisjinsje en ôfsettingssnelheid nimme mei oarders fan grutte ta.
(3) Leech-enerzjy sputterjen. Troch de lege katodespanning dy't tapast wurdt op it doel, wurdt it plasma yn 'e romte tichtby de katode bûn troch in magnetysk fjild, wat it foarkommen fan heech-enerzjy laden dieltsjes oan 'e kant fan it substraat remt. Dêrom is de mjitte fan skea feroarsake troch it bombardemint fan laden dieltsjes oan substraten lykas healgeleiderapparaten leger as dy fan oare sputtermetoaden.
– Dit artikel wurdt útjûn trochfabrikant fan fakuümcoatingmasinesGuangdong Zhenhua.
Pleatsingstiid: 8 septimber 2023