Cette série d'équipements utilise des cibles magnétron pour convertir les matériaux de revêtement en particules nanométriques, qui se déposent à la surface des substrats pour former des films minces. Le film enroulé est placé dans la chambre à vide. Grâce à la structure d'enroulement électrique, une extrémité reçoit le film et l'autre l'applique. Le film continue de traverser la zone cible et reçoit les particules cibles pour former un film dense.
Caractéristiques:
1. Formage de film à basse température. La température a peu d'effet sur le film et ne provoque pas de déformation. Convient aux films en bobine PET, PI et autres matériaux de base.
2. L'épaisseur du film peut être ajustée. Des revêtements fins ou épais peuvent être conçus et déposés par ajustement du procédé.
3. Conception à emplacements multiples et procédé flexible. La machine peut être équipée de huit cibles, utilisables comme cibles métalliques simples ou comme cibles composées et oxydées. Elle permet de préparer des films monocouches à structure unique ou des films multicouches à structure composite. Le procédé est très flexible.
L'équipement peut préparer un film de blindage électromagnétique, un revêtement de circuit imprimé flexible, divers films diélectriques, un film antireflet AR multicouche, un film antireflet HR élevé, un film couleur, etc. L'équipement a une très large gamme d'applications et le dépôt de film monocouche peut être complété par un dépôt de film unique.
L'équipement peut adopter des cibles métalliques simples telles que Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, etc., ou des cibles composées telles que SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, etc.
Cet équipement est compact, de petite taille, de conception compacte, peu encombrant, à faible consommation d'énergie et flexible en termes de réglage. Il est particulièrement adapté à la recherche et au développement de procédés ou à la production en série de petites séries.