Tämä laitesarja käyttää magnetronimaalilaitteita pinnoitusmateriaalien muuntamiseen nanometrin kokoisiksi hiukkasiksi, jotka kerrostetaan alustojen pinnalle ohuiden kalvojen muodostamiseksi. Rullattu kalvo asetetaan tyhjiökammioon. Sähköisesti ohjatun käämirakenteen läpi kalvon toinen pää vastaanottaa ja toinen pää asettaa sen. Se jatkaa kulkuaan kohdealueen läpi ja vastaanottaa kohdehiukkaset muodostaen tiheän kalvon.
Ominaisuus:
1. Kalvonmuodostus matalassa lämpötilassa. Lämpötilalla on vain vähän vaikutusta kalvoon eikä se aiheuta muodonmuutoksia. Sopii PET-, PI- ja muiden perusmateriaalien kelakalvoille.
2. Kalvon paksuutta voidaan suunnitella. Ohuita tai paksuja pinnoitteita voidaan suunnitella ja kerrostaa prosessia säätämällä.
3. Usean kohteen sijainti, joustava prosessi. Koko kone voidaan varustaa kahdeksalla kohteesta, joita voidaan käyttää joko yksinkertaisina metallikohteina tai yhdistelmä- ja oksidikohteina. Sitä voidaan käyttää yksikerroksisten kalvojen valmistukseen yhdellä rakenteella tai monikerroksisten kalvojen valmistukseen komposiittirakenteella. Prosessi on erittäin joustava.
Laitteella voidaan valmistaa sähkömagneettista suojakalvoa, joustavaa piirilevypinnoitetta, erilaisia dielektrisiä kalvoja, monikerroksista AR-heijastuksenestokalvoa, HR-heijastuksenestokalvoa, värikalvoa jne. Laitteella on erittäin laaja käyttöalue, ja yksikerroksinen kalvonkerrostus voidaan suorittaa kertakerrostuksella.
Laitteisto voi ottaa käyttöön yksinkertaisia metallikohteita, kuten Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl jne., tai yhdistelmäkohteita, kuten SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO jne.
Laite on kooltaan pieni, rakenteeltaan kompakti, lattiapinta-alaltaan pieni, energiankulutukseltaan alhainen ja joustavasti säädettävissä. Se sopii erittäin hyvin prosessitutkimukseen ja -kehitykseen tai pienten erien massatuotantoon.