RCW600

Ekipamendu-serie honek magnetron jomugak erabiltzen ditu estaldura-materialak nanometro tamainako partikula bihurtzeko, eta hauek substratuen gainazalean metatzen dira film meheak osatzeko. Biribilkatutako filma huts-ganberan jartzen da. Elektrikoki bultzatutako bihurketa-egitura baten bidez, mutur batek filma jasotzen du eta besteak filma jartzen du. Helburu-eremutik igarotzen jarraitzen du eta helburu-partikulak jasotzen ditu film trinko bat osatzeko.
Ezaugarria:

1. Tenperatura baxuko film-formazioa. Tenperaturak eragin txikia du filmean eta ez du deformaziorik sortuko. PET, PI eta beste oinarrizko materialen bobina-filmetarako egokia da.
2. Filmaren lodiera diseinatu daiteke. Estaldura meheak edo lodiak diseinatu eta metatu daitezke prozesuaren doikuntzaren bidez.
3. Helburu anitzeko kokapenaren diseinua, prozesu malgua. Makina osoa zortzi helbururekin hornitu daiteke, eta hauek metalezko helburu sinple edo konposatu eta oxido helburu gisa erabil daitezke. Egitura bakarreko geruza bakarreko filmak edo egitura konposatuko geruza anitzeko filmak prestatzeko erabil daiteke. Prozesua oso malgua da.

Ekipamenduak babes elektromagnetikoko filma, zirkuitu-plaka malguen estaldura, hainbat film dielektriko, geruza anitzeko AR islatzearen aurkako filma, HR islatzearen aurkako film handia, koloretako filma eta abar prestatu ditzake. Ekipamenduak aplikazio sorta oso zabala du, eta geruza bakarreko filmaren metaketa filmaren metaketa bakarreko bidez egin daiteke.
Ekipamenduak metalezko helburu sinpleak har ditzake, hala nola Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, etab., edo helburu konposatuak, hala nola SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, etab.

Ekipamendua tamaina txikikoa da, egitura trinkoa du, azalera txikikoa, energia-kontsumo txikia du eta doikuntza malgua du. Oso egokia da prozesuen ikerketa eta garapenerako edo serie txikiko ekoizpen masiborako.