RCW600

See seadmete seeria kasutab magnetronmärklaudu, et muuta kattematerjalid nanomeetri suurusteks osakesteks, mis sadestatakse aluspinna pinnale õhukeste kilede moodustamiseks. Rullitud kile asetatakse vaakumkambrisse. Elektriliselt juhitava mähise struktuuri kaudu võtab üks ots vastu kile ja teine ​​​​paigutab selle. See jätkab läbimist läbi märklaua piirkonna ja võtab vastu märklaua osakesed, moodustades tiheda kile.
Iseloomulik:

1. Madala temperatuuriga kile moodustamine. Temperatuuril on kilele vähe mõju ja see ei deformeeru. Sobib PET-i, PI-i ja muude alusmaterjalide mähiskilede valmistamiseks.
2. Kile paksust saab kujundada. Õhukesi või pakse katteid saab kujundada ja sadestada protsessi reguleerimise teel.
3. Mitme sihtmärgi asukoha disain, paindlik protsess. Kogu masinat saab varustada kaheksa sihtmärgiga, mida saab kasutada kas lihtsate metallsihtmärkidena või liit- ja oksiidsihtmärkidena. Seda saab kasutada ühekihiliste kilede valmistamiseks ühe struktuuriga või mitmekihiliste kilede valmistamiseks komposiitstruktuuriga. Protsess on väga paindlik.

Seadmed suudavad valmistada elektromagnetilist varjestuskilet, painduvat trükkplaadi katet, mitmesuguseid dielektrilisi kilesid, mitmekihilist AR-peegeldusvastast kilet, HR-kõrgpeegeldusvastast kilet, värvikilet jne. Seadmel on väga lai valik rakendusi ja ühekihilise kile sadestamise saab lõpule viia ühekordse kile sadestamisega.
Seadmed võivad vastu võtta lihtsaid metallsihtmärke nagu Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl jne või liitsihtmärke nagu SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO jne.

Seade on väikese suurusega, kompaktse konstruktsiooniga, väikese põrandapinnaga, madala energiatarbega ja paindliku reguleerimisega. See sobib väga hästi protsesside uurimiseks ja arendamiseks või väikepartiide masstootmiseks.