Esta serie de equipos utiliza objetivos de magnetrón para convertir los materiales de recubrimiento en partículas nanométricas, que se depositan sobre la superficie de los sustratos para formar películas delgadas. La película enrollada se coloca en la cámara de vacío. A través de la estructura de bobinado accionada eléctricamente, un extremo recibe la película y el otro la coloca. Continúa atravesando el área objetivo y recibe las partículas para formar una película densa.
Característica:
1. Formación de película a baja temperatura. La temperatura apenas afecta la película y no produce deformación. Es adecuada para películas en bobina de PET, PI y otros materiales base.
2. Se puede diseñar el espesor de la película. Se pueden diseñar y depositar recubrimientos delgados o gruesos mediante el ajuste del proceso.
3. Diseño con ubicación de objetivos múltiples, proceso flexible. La máquina puede equiparse con ocho objetivos, que pueden utilizarse como objetivos metálicos simples o objetivos compuestos y de óxido. Permite preparar películas monocapa con estructura simple o multicapa con estructura compuesta. El proceso es muy flexible.
El equipo puede preparar películas de protección electromagnética, revestimiento de placas de circuitos flexibles, varias películas dieléctricas, películas antirreflejos AR multicapa, películas antirreflejos HR altas, películas de color, etc. El equipo tiene una gama muy amplia de aplicaciones y la deposición de películas de una sola capa se puede completar mediante la deposición de película de una sola vez.
El equipo puede adoptar objetivos metálicos simples como Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, etc., o objetivos compuestos como SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, etc.
El equipo es de tamaño compacto, con una estructura compacta, ocupa poco espacio, consume poco energía y es flexible en su ajuste. Es ideal para la investigación y el desarrollo de procesos o la producción en masa de lotes pequeños.