RCW600

Ĉi tiu serio de ekipaĵo uzas magnetronajn celojn por konverti tegaĵajn materialojn en nanometrajn partiklojn, kiuj estas deponitaj sur la surfaco de substratoj por formi maldikajn filmojn. La rulita filmo estas metita en la vakuan ĉambron. Tra la elektre movata volvaĵostrukturo, unu fino ricevas la filmon kaj la alia metas ĝin. Ĝi daŭre pasas tra la cela areo kaj ricevas la celajn partiklojn por formi densan filmon.
Karakterizaĵo:

1. Filmformado je malalta temperaturo. La temperaturo havas malmultan efikon sur la filmon kaj ne produktos deformiĝon. Ĝi taŭgas por PET, PI kaj aliaj volvaĵaj filmoj el bazmaterialoj.
2. La dikeco de la filmo povas esti desegnita. Maldikaj aŭ dikaj tegaĵoj povas esti desegnitaj kaj deponitaj per proceza alĝustigo.
3. Multcela dezajno, fleksebla procezo. La tuta maŝino povas esti ekipita per ok celoj, kiuj povas esti uzataj kiel simplaj metalaj celoj aŭ kunmetitaj kaj oksidaj celoj. Ĝi povas esti uzata por prepari unu-tavolajn filmojn kun unu-strukturo aŭ plurtavolajn filmojn kun kompozita strukturo. La procezo estas tre fleksebla.

La ekipaĵo povas prepari elektromagnetan ŝirman filmon, flekseblan cirkvitplatan tegaĵon, diversajn dielektrikajn filmojn, plurtavolan AR-kontraŭreflektan filmon, HR-altan kontraŭreflektan filmon, koloran filmon, ktp. La ekipaĵo havas tre larĝan gamon da aplikoj, kaj unu-tavola filmdemetado povas esti kompletigita per unufoja filmdemetado.
La ekipaĵo povas adopti simplajn metalajn celojn kiel Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, ktp., aŭ kunmetitajn celojn kiel SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, ktp.

La ekipaĵo estas malgranda laŭ grandeco, kompakta laŭ strukturo, malgranda laŭ planksurfaco, malalta energikonsumo, kaj fleksebla laŭ alĝustigo. Ĝi estas tre taŭga por proceza esplorado kaj disvolviĝo aŭ amasproduktado en malgrandaj kvantoj.