RCW600

Αυτή η σειρά εξοπλισμού χρησιμοποιεί στόχους μαγνητρόν για να μετατρέψει τα υλικά επικάλυψης σε σωματίδια μεγέθους νανομέτρου, τα οποία εναποτίθενται στην επιφάνεια των υποστρωμάτων για να σχηματίσουν λεπτές μεμβράνες. Η τυλιγμένη μεμβράνη τοποθετείται στον θάλαμο κενού. Μέσω της ηλεκτρικά κινούμενης δομής περιέλιξης, το ένα άκρο δέχεται την μεμβράνη και το άλλο την τοποθετεί. Συνεχίζει να διέρχεται από την περιοχή-στόχο και δέχεται τα σωματίδια-στόχους για να σχηματίσει μια πυκνή μεμβράνη.
Χαρακτηριστικός:

1. Σχηματισμός φιλμ σε χαμηλή θερμοκρασία. Η θερμοκρασία έχει μικρή επίδραση στην μεμβράνη και δεν θα προκαλέσει παραμόρφωση. Είναι κατάλληλο για φιλμ από PET, PI και άλλα βασικά υλικά.
2. Το πάχος της μεμβράνης μπορεί να σχεδιαστεί. Λεπτές ή παχιές επιστρώσεις μπορούν να σχεδιαστούν και να εναποτεθούν με προσαρμογή της διαδικασίας.
3. Σχεδιασμός πολλαπλών θέσεων στόχων, ευέλικτη διαδικασία. Ολόκληρο το μηχάνημα μπορεί να εξοπλιστεί με οκτώ στόχους, οι οποίοι μπορούν να χρησιμοποιηθούν είτε ως απλοί μεταλλικοί στόχοι είτε ως σύνθετοι και οξειδωμένοι στόχοι. Μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την παρασκευή μεμβρανών μίας στρώσης με ενιαία δομή ή μεμβρανών πολλαπλών στρώσεων με σύνθετη δομή. Η διαδικασία είναι πολύ ευέλικτη.

Ο εξοπλισμός μπορεί να προετοιμάσει ηλεκτρομαγνητική μεμβράνη θωράκισης, εύκαμπτη επίστρωση πλακέτας κυκλώματος, διάφορες διηλεκτρικές μεμβράνες, πολυστρωματική μεμβράνη αντιανακλαστικής AR, μεμβράνη υψηλής αντιανακλαστικής HR, έγχρωμη μεμβράνη κ.λπ. Ο εξοπλισμός έχει ένα πολύ ευρύ φάσμα εφαρμογών και η εναπόθεση μεμβράνης μονής στρώσης μπορεί να ολοκληρωθεί με εφάπαξ εναπόθεση μεμβράνης.
Ο εξοπλισμός μπορεί να υιοθετήσει απλούς μεταλλικούς στόχους όπως Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, κ.λπ., ή σύνθετους στόχους όπως SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, κ.λπ.

Ο εξοπλισμός είναι μικρός σε μέγεθος, συμπαγής σε σχεδιασμό δομής, μικρός σε επιφάνεια δαπέδου, χαμηλή σε κατανάλωση ενέργειας και ευέλικτος σε ρύθμιση. Είναι πολύ κατάλληλος για έρευνα και ανάπτυξη διεργασιών ή για μαζική παραγωγή μικρών παρτίδων.