Mae'r gyfres hon o offer yn defnyddio targedau magnetron i drosi deunyddiau cotio yn ronynnau maint nanometr, sy'n cael eu dyddodi ar wyneb swbstradau i ffurfio ffilmiau tenau. Mae'r ffilm wedi'i rholio yn cael ei rhoi yn y siambr gwactod. Trwy'r strwythur dirwyn trydanol, mae un pen yn derbyn y ffilm ac mae'r llall yn rhoi'r ffilm. Mae'n parhau i basio trwy'r ardal darged ac yn derbyn y gronynnau targed i ffurfio ffilm drwchus.
Nodwedd:
1. Ffurfio ffilm tymheredd isel. Ychydig iawn o effaith sydd gan y tymheredd ar y ffilm ac ni fydd yn achosi anffurfiad. Mae'n addas ar gyfer ffilmiau coil PET, PI a deunyddiau sylfaen eraill.
2. Gellir dylunio trwch y ffilm. Gellir dylunio a dyddodi haenau tenau neu drwchus trwy addasu'r broses.
3. Dyluniad lleoliad targed lluosog, proses hyblyg. Gellir cyfarparu'r peiriant cyfan ag wyth targed, y gellir eu defnyddio naill ai fel targedau metel syml neu dargedau cyfansawdd ac ocsid. Gellir ei ddefnyddio i baratoi ffilmiau un haen gydag un strwythur neu ffilmiau aml-haen gyda strwythur cyfansawdd. Mae'r broses yn hyblyg iawn.
Gall yr offer baratoi ffilm cysgodi electromagnetig, cotio bwrdd cylched hyblyg, amrywiol ffilmiau dielectrig, ffilm gwrth-adlewyrchol AR aml-haen, ffilm gwrth-adlewyrchol uchel HR, ffilm lliw, ac ati. Mae gan yr offer ystod eang iawn o gymwysiadau, a gellir cwblhau dyddodiad ffilm un haen trwy ddyddodiad ffilm untro.
Gall yr offer fabwysiadu targedau metel syml fel Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, ac ati, neu dargedau cyfansawdd fel SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, ac ati.
Mae'r offer yn fach o ran maint, yn gryno o ran dyluniad strwythur, yn fach o ran arwynebedd llawr, yn isel o ran defnydd ynni, ac yn hyblyg o ran addasiad. Mae'n addas iawn ar gyfer ymchwil a datblygu prosesau neu gynhyrchu màs sypiau bach.