O'i gymharu â thechnolegau cotio eraill, mae gan gotio chwistrellu'r nodweddion arwyddocaol canlynol: mae gan y paramedrau gweithio ystod addasu deinamig fawr, mae cyflymder a thrwch dyddodiad y cotio (cyflwr yr ardal gotio) yn hawdd i'w rheoli, ac nid oes unrhyw gyfyngiadau dylunio ar geometreg y targed chwistrellu i sicrhau unffurfiaeth y cotio; Nid oes gan yr haen ffilm broblem gronynnau diferion: gellir gwneud bron pob metel, aloi a deunydd ceramig yn ddeunyddiau targed; Trwy chwistrellu DC neu RF, gellir cynhyrchu cotiau metel pur neu aloi gyda chyfrannau manwl gywir a chyson a ffilmiau adwaith metel gyda chyfranogiad nwy i fodloni gofynion amrywiol a manwl gywir ffilmiau. Y paramedrau proses nodweddiadol ar gyfer cotio chwistrellu yw: y pwysau gweithio yw 01Pa; Y foltedd targed yw 300 ~ 700V, a'r dwysedd pŵer targed yw 1 ~ 36W / cm2. Nodweddion penodol chwistrellu yw:
(1) Cyfradd dyddodiad uchel. Oherwydd y defnydd o electrodau, gellir cael ceryntau ïon bomio targed mawr iawn, felly mae'r gyfradd ysgythru chwistrellu ar wyneb y targed a'r gyfradd dyddodiad ffilm ar wyneb y swbstrad yn uchel.
(2) Effeithlonrwydd pŵer uchel. Mae tebygolrwydd gwrthdrawiad rhwng electronau ynni isel ac atomau nwy yn uchel, felly mae cyfradd ïoneiddio'r nwy yn cynyddu'n fawr. Yn gyfatebol, mae rhwystriant y nwy rhyddhau (neu'r plasma) yn cael ei leihau'n fawr. Felly, o'i gymharu â chwistrellu dau begwn DC, hyd yn oed os yw'r pwysau gweithio yn cael ei leihau o 1 ~ 10 Pa i 10-2 ~ 10-1 Pa, mae'r foltedd chwistrellu yn cael ei leihau o sawl mil o folt i gannoedd o folt, ac mae effeithlonrwydd chwistrellu a chyfradd dyddodiad yn cynyddu o orchmynion maint.
(3) Ysbeiddio ynni isel. Oherwydd y foltedd catod isel a roddir ar y targed, mae'r plasma wedi'i rwymo yn y gofod ger y catod gan faes magnetig, sy'n atal gronynnau gwefredig ynni uchel rhag dod i ochr y swbstrad. Felly, mae graddfa'r difrod a achosir gan fomio gronynnau gwefredig i swbstradau fel dyfeisiau lled-ddargludyddion yn is nag a achosir gan ddulliau ysbeiddio eraill.
–Cyhoeddir yr erthygl hon gangwneuthurwr peiriant cotio gwactodGuangdong Zhenhua.
Amser postio: Medi-08-2023