RCW600

Tato řada zařízení využívá magnetronové terče k přeměně povlakových materiálů na nanočástice, které se nanášejí na povrch substrátů a vytvářejí tenké filmy. Srolovaný film se umístí do vakuové komory. Prostřednictvím elektricky poháněné navíjecí struktury se film zavede na jeden konec a na druhý konec. Zařízení dále prochází cílovou oblastí a přijímá cílové částice, čímž vzniká hustý film.
Charakteristický:

1. Tvoření filmu za nízkých teplot. Teplota má malý vliv na film a nezpůsobuje deformaci. Je vhodný pro PET, PI a další základní materiály pro cívkové fólie.
2. Tloušťku filmu lze navrhnout. Tenké nebo silné povlaky lze navrhnout a nanést úpravou procesu.
3. Konstrukce s více umístěními terčů, flexibilní proces. Celý stroj může být vybaven osmi terči, které lze použít buď jako jednoduché kovové terče, nebo jako složené a oxidové terče. Lze jej použít k přípravě jednovrstvých filmů s jednoduchou strukturou nebo vícevrstvých filmů s kompozitní strukturou. Proces je velmi flexibilní.

Zařízení dokáže připravit elektromagnetické stínící fólie, flexibilní povlaky na desky plošných spojů, různé dielektrické fólie, vícevrstvé antireflexní fólie AR, vysoce antireflexní fólie HR, barevné fólie atd. Zařízení má velmi širokou škálu použití a jednorázové nanášení fólie lze provést jednorázovým nanesením fólie.
Zařízení může používat jednoduché kovové terče, jako je Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl atd., nebo složené terče, jako je SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO atd.

Zařízení má malé rozměry, kompaktní konstrukci, malou podlahovou plochu, nízkou spotřebu energie a flexibilní nastavení. Je velmi vhodné pro výzkum a vývoj procesů nebo malosériovou hromadnou výrobu.