Ve srovnání s jinými technologiemi nanášení povlaků má naprašování následující významné vlastnosti: pracovní parametry mají velký dynamický rozsah nastavení, rychlost a tloušťka nanášení povlaku (stav povlakované plochy) se snadno ovládají a neexistují žádná konstrukční omezení geometrie naprašovacího terče, aby se zajistila rovnoměrnost povlaku; vrstva filmu nemá problém s kapénkovými částicemi: téměř všechny kovy, slitiny a keramické materiály lze použít jako terčové materiály; stejnosměrným nebo vysokofrekvenčním naprašováním lze generovat povlaky z čistých kovů nebo slitin s přesnými a konstantními poměry a kovové reakční filmy s účastí plynu, které splňují rozmanité a vysoce přesné požadavky na filmy. Typické procesní parametry naprašování jsou: pracovní tlak je 0,1 Pa; napětí terče je 300 až 700 V a hustota výkonu terče je 1 až 36 W/cm2. Specifické vlastnosti naprašování jsou:
(1) Vysoká rychlost depozice. Díky použití elektrod lze dosáhnout velmi vysokých iontových proudů při bombardování terče, takže rychlost naprašování a leptání na povrchu terče a rychlost depozice filmu na povrchu substrátu jsou vysoké.
(2) Vysoká energetická účinnost. Pravděpodobnost srážky mezi nízkoenergetickými elektrony a atomy plynu je vysoká, takže se výrazně zvyšuje rychlost ionizace plynu. V souladu s tím se výrazně snižuje impedance výbojového plynu (nebo plazmatu). Proto se ve srovnání s dvoupólovým stejnosměrným naprašováním, i když se pracovní tlak sníží z 1~10 Pa na 10⁻²~10⁻¹ Pa, naprašovací napětí se sníží z několika tisíc voltů na stovky voltů a účinnost naprašování a rychlost nanášení se řádově zvyšují.
(3) Nízkoenergetické naprašování. V důsledku nízkého katodového napětí aplikovaného na terč je plazma vázána v prostoru poblíž katody magnetickým polem, které brání dopadu vysokoenergetických nabitých částic na stranu substrátu. Stupeň poškození způsobený bombardováním nabitými částicemi substrátů, jako jsou polovodičové součástky, je proto nižší než u jiných metod naprašování.
–Tento článek vydávávýrobce vakuových lakovacích strojůGuangdong Zhenhua.
Čas zveřejnění: 8. září 2023