RCW600

Sta seria d'apparecchiature usa bersagli magnetron per cunvertisce i materiali di rivestimentu in particelle di dimensioni nanometriche, chì sò depositate nantu à a superficia di i sustrati per furmà filmi fini. U filmu arrotolato hè piazzatu in a camera à vuoto. Attraversu a struttura di avvolgimentu azionata elettricamente, una estremità riceve u filmu è l'altra mette u filmu. Continua à passà per a zona di destinazione è riceve e particelle di destinazione per furmà un filmu densu.
Caratteristica:

1. Furmazione di film à bassa temperatura. A temperatura hà pocu effettu nant'à u film è ùn pruducerà micca deformazione. Hè adattatu per PET, PI è altri filmi di bobina di materiale di basa.
2. U spessore di a pellicola pò esse cuncipitu. Rivestimenti fini o spessi ponu esse cuncipiti è depositati per mezu di l'aghjustamentu di u prucessu.
3. Cuncepimentu di locu di mira multipla, prucessu flessibile. Tutta a macchina pò esse dotata di ottu mira, chì ponu esse aduprati cum'è mira metallica simplice o mira cumposta è d'ossidu. Pò esse aduprata per preparà filmi à un solu stratu cù una struttura unica o filmi multistratu cù una struttura cumposta. U prucessu hè assai flessibile.

L'equipaggiu pò preparà film di schermatura elettromagnetica, rivestimentu di circuiti stampati flessibili, vari film dielettrici, film antiriflessu AR multistratu, film antiriflessu HR altu, film culuritu, ecc. L'equipaggiu hà una gamma assai larga di applicazioni, è a deposizione di film à un solu stratu pò esse cumpletata da una deposizione di film una volta.
L'equipaggiu pò aduttà bersagli metallichi simplici cum'è Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, ecc., o bersagli cumposti cum'è SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, ecc.

L'attrezzatura hè di dimensioni ridotte, di struttura compatta, di superficia ridotta, di cunsumu energeticu bassu è di regulazione flessibile. Hè assai adatta per a ricerca è u sviluppu di prucessi o per a pruduzzione di massa in picculi lotti.