Ova serija opreme koristi magnetronske mete za pretvaranje materijala premaza u nanometarske čestice, koje se talože na površini supstrata i formiraju tanke filmove. Namotani film se postavlja u vakuumsku komoru. Kroz električno pokretanu strukturu namotavanja, jedan kraj prima film, a drugi ga postavlja. Nastavlja prolaziti kroz ciljno područje i prima ciljne čestice, formirajući gusti film.
Karakteristika:
1. Formiranje filma na niskim temperaturama. Temperatura ima mali uticaj na film i neće izazvati deformaciju. Pogodan je za PET, PI i druge osnovne materijale za oblikovanje filmova.
2. Debljina filma se može projektovati. Tanki ili debeli premazi mogu se projektovati i nanositi podešavanjem procesa.
3. Dizajn višestrukih lokacija meta, fleksibilan proces. Cijela mašina može biti opremljena sa osam meta, koje se mogu koristiti kao jednostavne metalne mete ili kao složene i oksidne mete. Može se koristiti za pripremu jednoslojnih filmova sa jednom strukturom ili višeslojnih filmova sa kompozitnom strukturom. Proces je vrlo fleksibilan.
Oprema može pripremiti elektromagnetnu zaštitnu foliju, fleksibilne premaze za štampane ploče, različite dielektrične folije, višeslojne AR antirefleksne folije, HR visoko antirefleksne folije, folije u boji itd. Oprema ima vrlo širok raspon primjena, a jednoslojno nanošenje folije može se završiti jednokratnim nanošenjem folije.
Oprema može koristiti jednostavne metalne mete kao što su Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl itd., ili složene mete kao što su SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO itd.
Oprema je malih dimenzija, kompaktne konstrukcije, male površine, niske potrošnje energije i fleksibilna u podešavanju. Vrlo je pogodna za istraživanje i razvoj procesa ili masovnu proizvodnju malih serija.