U poređenju s drugim tehnologijama nanošenja premaza, raspršivanje ima sljedeće značajne karakteristike: radni parametri imaju veliki dinamički raspon podešavanja, brzina i debljina nanošenja premaza (stanje područja premaza) se lako kontroliraju, a ne postoje dizajnerska ograničenja u pogledu geometrije mete za raspršivanje kako bi se osigurala ujednačenost premaza; Sloj filma nema problem čestica kapljica: gotovo svi metali, legure i keramički materijali mogu se pretvoriti u materijale za mete; DC ili RF raspršivanjem mogu se generirati premazi od čistog metala ili legura s preciznim i konstantnim omjerima i filmovi reakcije metala s učešćem plina kako bi se zadovoljili raznoliki i visokoprecizni zahtjevi za filmove. Tipični procesni parametri raspršivanja premaza su: radni pritisak je 0,1 Pa; napon mete je 300~700 V, a gustoća snage mete je 1~36 W/cm2. Specifične karakteristike raspršivanja su:
(1) Visoka brzina taloženja. Zbog upotrebe elektroda, mogu se postići vrlo velike ionske struje bombardiranja mete, tako da su brzina raspršivanja i nagrizanja na površini mete i brzina taloženja filma na površini supstrata visoke.
(2) Visoka energetska efikasnost. Vjerovatnoća sudara između elektrona niske energije i atoma gasa je visoka, tako da se brzina jonizacije gasa znatno povećava. Shodno tome, impedancija gasa za pražnjenje (ili plazme) se znatno smanjuje. Stoga, u poređenju sa DC dvopolnim raspršivanjem, čak i ako se radni pritisak smanji sa 1~10 Pa na 10⁻²~10⁻¹ Pa, napon raspršivanja se smanjuje sa nekoliko hiljada volti na stotine volti, a efikasnost raspršivanja i brzina taloženja se povećavaju za redove veličine.
(3) Raspršivanje niske energije. Zbog niskog napona katode primijenjenog na metu, plazma je vezana u prostoru blizu katode magnetskim poljem, koje inhibira pojavu visokoenergetskih nabijenih čestica na stranu podloge. Stoga je stepen oštećenja uzrokovan bombardiranjem nabijenih čestica na podloge poput poluprovodničkih uređaja niži nego kod drugih metoda raspršivanja.
–Ovaj članak je objavljen od straneproizvođač mašina za vakuumsko premazivanjeGuangdong Zhenhua.
Vrijeme objave: 08.09.2023.