RCW600

Тази серия оборудване използва магнетронни мишени за преобразуване на покривни материали в нанометрови частици, които се отлагат върху повърхността на субстратите, за да образуват тънки филми. Навитото фолио се поставя във вакуумна камера. Чрез електрически задвижвана навиваща структура, единият край приема фолиото, а другият го поставя. Тя продължава да преминава през целевата област и приема целевите частици, за да образува плътен филм.
Характеристика:

1. Формиране на филм при ниска температура. Температурата има малък ефект върху филма и не води до деформация. Подходящ е за PET, PI и други основни материали на рулони.
2. Дебелината на филма може да бъде проектирана. Тънки или дебели покрития могат да бъдат проектирани и отложени чрез регулиране на процеса.
3. Дизайн с множество мишени, гъвкав процес. Цялата машина може да бъде оборудвана с осем мишени, които могат да се използват като прости метални мишени или като съставни и оксидни мишени. Може да се използва за приготвяне на еднослойни филми с единична структура или многослойни филми с композитна структура. Процесът е много гъвкав.

Оборудването може да подготви електромагнитно екраниращо фолио, гъвкаво покритие за печатни платки, различни диелектрични фолиа, многослойно AR антирефлексно фолио, HR високо антирефлексно фолио, цветно фолио и др. Оборудването има много широк спектър от приложения, а еднослойното отлагане на фолио може да се извърши чрез еднократно отлагане на фолио.
Оборудването може да използва прости метални мишени като Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl и др., или сложни мишени като SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO и др.

Оборудването е с малки размери, компактна конструкция, малка площ, ниска консумация на енергия и гъвкаво регулиране. То е много подходящо за научноизследователска и развойна дейност или за масово производство на малки партиди.