Digər örtük texnologiyaları ilə müqayisədə püskürtmə örtüyü aşağıdakı əhəmiyyətli xüsusiyyətlərə malikdir: iş parametrləri böyük dinamik tənzimləmə diapazonuna malikdir, örtüyün çökmə sürəti və qalınlığına (örtmə sahəsinin vəziyyəti) nəzarət etmək asandır və örtünün vahidliyini təmin etmək üçün püskürtmə hədəfinin həndəsəsinə dizayn məhdudiyyətləri yoxdur; Film qatında damcı hissəcikləri problemi yoxdur: demək olar ki, bütün metallar, ərintilər və keramika materialları hədəf materialları hazırlamaq olar; DC və ya RF püskürtmə ilə, plyonkaların müxtəlif və yüksək dəqiqlik tələblərinə cavab vermək üçün dəqiq və sabit nisbətlərdə təmiz metal və ya ərinti örtükləri və qaz iştirakı ilə metal reaksiya filmləri yaradıla bilər. Püskürtmə örtüyünün tipik proses parametrləri aşağıdakılardır: iş təzyiqi 01Pa; Hədəf gərginliyi 300~700V, hədəf güc sıxlığı isə 1~36W/sm2-dir. Püskürtmənin spesifik xüsusiyyətləri bunlardır:
(1) Yüksək çökmə dərəcəsi. Elektrodların istifadəsi sayəsində çox böyük hədəf bombardmanı ion cərəyanları əldə edilə bilər, buna görə də hədəf səthdə püskürtmə sürəti və substrat səthində film çökmə sürəti yüksəkdir.
(2) Yüksək enerji səmərəliliyi. Aşağı enerjili elektronlar və qaz atomları arasında toqquşma ehtimalı yüksəkdir, buna görə də qazın ionlaşma dərəcəsi çox artır. Müvafiq olaraq, axıdılan qazın (və ya plazmanın) empedansı çox azalır. Buna görə də, DC iki qütblü püskürtmə ilə müqayisədə, hətta iş təzyiqi 1~10Pa-dan 10-2~10-1Pa-a endirilsə belə, püskürtmə gərginliyi bir neçə min voltdan yüzlərlə volta qədər azalır və püskürtmə səmərəliliyi və çökmə sürəti böyüklük əmrləri ilə artır.
(3) Aşağı enerjili püskürmə. Hədəfə tətbiq olunan aşağı katod gərginliyinə görə plazma katod yaxınlığındakı boşluqda maqnit sahəsi ilə bağlanır və bu, yüksək enerjili yüklü hissəciklərin substratın yan tərəfinə düşməsini maneə törədir. Buna görə də, yarımkeçirici qurğular kimi substratlara yüklənmiş hissəciklərin bombardmanı nəticəsində yaranan zərərin dərəcəsi digər püskürtmə üsullarından daha aşağıdır.
- Bu məqalə nəşr olunurvakuum örtük maşın istehsalçısıGuangdong Zhenhua.
Göndərmə vaxtı: 08 sentyabr 2023-cü il