تستخدم هذه السلسلة من المعدات أهدافًا مغناطيسية لتحويل مواد الطلاء إلى جزيئات نانومترية، تُرسَب على سطح المواد الأساسية لتكوين أغشية رقيقة. يُوضع الغشاء الملفوف في حجرة التفريغ. من خلال هيكل اللف المُدار كهربائيًا، يستقبل أحد طرفيه الغشاء، بينما يُثبّته الطرف الآخر. يستمر الغشاء في المرور عبر منطقة الهدف، ويستقبل جزيئاته، مُشكّلًا غشاءً كثيفًا.
المميزات:
١. تشكيل الفيلم بدرجة حرارة منخفضة. تأثير درجة الحرارة على الفيلم ضئيل، ولا يُسبب تشوهًا. مناسب لأفلام لفائف PET وPI وغيرها من المواد الأساسية.
٢. يمكن تصميم سُمك الفيلم. تصميم طبقات رقيقة أو سميكة وترسيبها عن طريق تعديل العملية.
٣. تصميم متعدد المواقع، عملية مرنة. يمكن تجهيز الجهاز بثمانية أهداف، يمكن استخدامها إما كأهداف معدنية بسيطة أو كأهداف مركبة وأكسيدية. يمكن استخدامه لتحضير أغشية أحادية الطبقة ذات بنية واحدة، أو أغشية متعددة الطبقات ذات بنية مركبة. العملية مرنة للغاية.
يمكن للمعدات تحضير فيلم الحماية الكهرومغناطيسي، وطلاء لوحة الدائرة المرنة، والأفلام العازلة المختلفة، وفيلم AR المضاد للانعكاس متعدد الطبقات، وفيلم HR المضاد للانعكاس العالي، والفيلم الملون، وما إلى ذلك. تتمتع المعدات بمجموعة واسعة جدًا من التطبيقات، ويمكن إكمال ترسيب الفيلم أحادي الطبقة عن طريق ترسيب الفيلم لمرة واحدة.
يمكن للمعدات اعتماد أهداف معدنية بسيطة مثل Al وCr وCu وFe وNi وSUS وTiAl وما إلى ذلك، أو أهداف مركبة مثل SiO2 وSi3N4 وAl2O3 وSnO2 وZnO وTa2O5 وITO وAZO وما إلى ذلك.
تتميز هذه المعدات بحجمها الصغير، وتصميم هيكلها المدمج، ومساحة أرضيتها الصغيرة، واستهلاكها المنخفض للطاقة، ومرونة تعديلها. وهي مناسبة جدًا لأبحاث وتطوير العمليات، أو الإنتاج الضخم بكميات صغيرة.