بالمقارنة مع تقنيات الطلاء الأخرى، يتميز طلاء الرش بالخصائص المهمة التالية: نطاق تعديل ديناميكي واسع لمعلمات التشغيل، وسهولة التحكم في سرعة ترسب الطلاء وسمكه (حالة منطقة الطلاء)، وعدم وجود قيود تصميمية على هندسة هدف الرش لضمان تجانس الطلاء؛ طبقة الفيلم خالية من مشكلة جزيئات القطرات: يمكن تحويل جميع المعادن والسبائك والمواد الخزفية تقريبًا إلى مواد مستهدفة؛ باستخدام الرش بالتيار المستمر أو الترددات الراديوية، يمكن إنتاج طلاءات معدنية نقية أو سبائكية بنسب دقيقة وثابتة، وأغشية تفاعل معدنية بمشاركة غازية لتلبية المتطلبات المتنوعة وعالية الدقة للأفلام. معلمات عملية الرش النموذجية هي: ضغط التشغيل 0.1 باسكال؛ الجهد المستهدف 300-700 فولت، وكثافة الطاقة المستهدفة 1-36 واط/سم². الخصائص المحددة للرش بالتيار المستمر هي:
(١) معدل ترسيب مرتفع. بفضل استخدام الأقطاب الكهربائية، يُمكن الحصول على تيارات أيونية عالية جدًا لقصف الهدف، مما يُؤدي إلى ارتفاع معدل النقش بالرش على سطح الهدف ومعدل ترسيب الفيلم على سطح الركيزة.
(٢) كفاءة طاقة عالية. احتمالية تصادم الإلكترونات منخفضة الطاقة مع ذرات الغاز عالية، مما يزيد بشكل كبير من معدل تأين الغاز. وبالتالي، تنخفض مقاومة غاز التفريغ (أو البلازما) بشكل كبير. لذلك، بالمقارنة مع الرش ثنائي القطب بالتيار المستمر، حتى مع انخفاض ضغط التشغيل من ١ إلى ١٠ باسكال إلى ١٠-٢ إلى ١٠-١ باسكال، ينخفض جهد الرش من عدة آلاف فولت إلى مئات الفولتات، وتزداد كفاءة الرش ومعدل الترسيب بشكل كبير.
(٣) الرش منخفض الطاقة. نظرًا لانخفاض جهد الكاثود المطبق على الهدف، تُقيّد البلازما في الفراغ القريب من الكاثود بواسطة مجال مغناطيسي، مما يمنع وصول الجسيمات المشحونة عالية الطاقة إلى جانب الركيزة. لذلك، تكون درجة الضرر الناتج عن قصف الجسيمات المشحونة للركائز، مثل أجهزة أشباه الموصلات، أقل من درجة الضرر الناتج عن طرق الرش الأخرى.
-تم نشر هذه المقالة بواسطةمُصنِّع آلات طلاء الفراغقوانغدونغ تشنهوا.
وقت النشر: ٨ سبتمبر ٢٠٢٣