A. Ga sputtering oṣuwọn. Fun apẹẹrẹ, nigba sputtering SiO2, awọn ohun idogo oṣuwọn le jẹ soke si 200nm/min, nigbagbogbo soke si 10 ~ 100nm/min.
Ati awọn oṣuwọn ti fiimu Ibiyi ni taara iwon si awọn ga igbohunsafẹfẹ agbara.
B.Adhesion laarin fiimu ati sobusitireti jẹ tobi ju igbale oru igbale ti Layer fiimu. Eleyi jẹ nitori awọn mimọ si awọn ara ti awọn isẹlẹ atomu apapọ kainetik agbara ti nipa 10eV, ati ninu pilasima sobusitireti yoo wa ni tunmọ si ti o muna sputtering ninu Abajade ni kere pinholes ninu awo awo Layer, ga ti nw, ipon awo Layer.
C.Wide adaptability ti awọn ohun elo awo awọ, boya irin tabi ti kii-irin tabi awọn agbo ogun, fere gbogbo awọn ohun elo le wa ni pese sile sinu kan yika awo, le ṣee lo fun igba pipẹ.
D.Awọn ibeere fun apẹrẹ ti sobusitireti kii ṣe ibeere. Ilẹ aiṣedeede ti sobusitireti tabi aye ti awọn slits kekere pẹlu iwọn ti o kere ju 1mm tun le tu sinu fiimu kan.
Ohun elo ti a bo sputtering igbohunsafẹfẹ redio Da lori awọn abuda ti o wa loke, ibora ti a fi pamọ nipasẹ sputtering igbohunsafẹfẹ redio ti wa ni lilo pupọ siwaju sii, ni pataki ni igbaradi ti awọn iyika iṣọpọ ati fiimu iṣẹ dielectric ni lilo pupọ julọ. Fun apẹẹrẹ, awọn ohun elo ti kii ṣe adari ati awọn ohun elo semikondokito ti a fi pamọ nipasẹ RF sputtering, pẹlu awọn eroja: semiconductor Si ati Ge, awọn ohun elo agbo-ara GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, awọn semiconductors giga-giga SiC, awọn ohun elo ferroelectric B14T3O12, gass B14T3O12, gass2. Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, gilasi, ṣiṣu, ati be be lo.
Ti a ba gbe awọn ibi-afẹde pupọ sinu iyẹwu ti a bo, o tun ṣee ṣe lati pari igbaradi ti fiimu pupọ-Layer ni iyẹwu kanna laisi iparun igbale ni akoko kan. Ẹrọ igbohunsafẹfẹ redio ti iyasọtọ fun gbigbe awọn oruka inu ati ita fun igbaradi ti ibora disulfide jẹ apẹẹrẹ ti ohun elo ti a lo ninu igbohunsafẹfẹ orisun igbohunsafẹfẹ redio ti 11.36MHz, foliteji ibi-afẹde ti 2 ~ 3kV, agbara lapapọ ti 12kW, ibiti o ṣiṣẹ ti agbara fifa irọbi oofa ti 0.008T, opin ti igbale igbale 6.6. ga ati kekere iwadi oro oṣuwọn. Pẹlupẹlu, ṣiṣe lilo agbara sputtering RF jẹ kekere, ati pe agbara nla ti yipada si ooru, eyiti o padanu lati omi itutu agbaiye ti ibi-afẹde.
-Nkan yii ti tu silẹ nipasẹigbale ti a bo ẹrọ olupeseGuangdong Zhenhua
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu kejila-21-2023