א. הויכע שפּאַטערינג קורס. למשל, ווען מען שפּאַטערט SiO2, קען די דעפּאָזיציע קורס זיין ביז 200 נאַנאָמעטער/מינוט, געוויינטלעך ביז 10~100 נאַנאָמעטער/מינוט.
און די ראטע פון פילם פאָרמירונג איז גלייך פּראָפּאָרציאָנעל צו די הויך-פרעקווענץ מאַכט.
ב. די אַדכיזשאַן צווישן דעם פילם און דעם סאַבסטראַט איז גרעסער ווי די וואַקוום פארע דעפּאַזישאַן פון דער פילם שיכט. דאָס איז רעכט צו דער דורכשניטלעכער קינעטיקער ענערגיע פון בערך 10 eV צווישן דער באַזע און דעם גוף פון דעם אינצידענטן אַטאָם, און אין דעם פּלאַזמע סאַבסטראַט וועט עס ווערן אונטערגעוואָרפן צו שטרענגער שפּריצן רייניקונג, וואָס רעזולטירט אין ווייניקער לאָך אין דער מעמבראַנע שיכט, הויך ריינקייט, און אַ געדיכטער מעמבראַנע שיכט.
C. ברייטע אַדאַפּטאַביליטי פון די מעמבראַן מאַטעריאַל, צי מעטאַל אָדער ניט-מעטאַל אָדער קאַמפּאַונדז, כּמעט אַלע מאַטעריאַלס קענען זיין צוגעגרייט אין אַ קייַלעכיק טעלער, קענען זיין געניצט פֿאַר אַ לאַנג צייַט.
ד. די באדערפענישן פאר דער פאָרעם פון דעם סאַבסטראַט זענען נישט שטרענג. די אומגלייכע ייבערפלאַך פון דעם סאַבסטראַט אָדער די עקזיסטענץ פון קליינע שפּאַלטן מיט אַ ברייט פון ווייניקער ווי 1 מם קען אויך ווערן געשפּריצט אין אַ פילם.
אַפּליקאַציע פון ראַדיאָ-פרעקווענץ ספּאַטערינג קאָוטינג באַזירט אויף די אויבן דערמאנטע קעראַקטעריסטיקס, די קאָוטינג וואָס ווערט אַוועקגעלייגט דורך ראַדיאָ-פרעקווענץ ספּאַטערינג איז איצט מער וויידלי געניצט, ספּעציעל אין דער צוגרייטונג פון אינטעגרירטע קרייזן און דיעלעקטרישע פונקציע פילם איז ספּעציעל וויידלי געניצט. למשל, ניט-קאַנדאַקטאָר און האַלב-קאָנדוקטאָר מאַטעריאַלן אַוועקגעלייגט דורך RF ספּאַטערינג, אַרייַנגערעכנט עלעמענטן: האַלב-קאָנדוקטאָר Si און Ge, קאַמפּאַונד מאַטעריאַלן GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, הויך-טעמפּעראַטור האַלב-קאָנדוקטאָרן SiC, פעראָ-עלעקטרישע קאַמפּאַונדז B14T3O12, גאַזיפיקאַציע כייפעץ מאַטעריאַלן In2Os, SiO2, Al203, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, גלאז, פּלאַסטיק, עטק.
אויב עטלעכע צילן ווערן געשטעלט אין דער קאָוטינג קאַמער, איז עס אויך מעגלעך צו פאַרענדיקן די צוגרייטונג פון מולטי-שיכטיקע פילם אין דער זעלביקער קאַמער אָן צעשטערן דעם וואַקוום אין איין מאָל. אַ דעדיקירטע עלעקטראָד ראַדיאָ פרעקווענץ מיטל פֿאַר טראָגן ינער און אויסערלעך רינגען פֿאַר דער צוגרייטונג פון דיסולפיד קאָוטינג איז אַ בייַשפּיל פון דער עקוויפּמענט געניצט אין דער ראַדיאָ פרעקווענץ מקור פרעקווענץ פון 11.36MHz, ציל וואָולטידזש פון 2 ~ 3kV, די גאַנץ מאַכט פון 12kW, די אַרבעט קייט פון די מאַגנעטישע אינדוקציע שטאַרקייט פון 0.008T, די גרענעץ פון די וואַקוום קאַמער וואַקוום איז 6.5X10-4Pa. הויך און נידעריק דעפּאָזיציע קורס. דערצו, די RF ספּאַטערינג מאַכט נוצן עפעקטיווקייַט איז נידעריק, און אַ גרויס סומע פון מאַכט איז קאָנווערטעד אין היץ, וואָס איז פאַרפאַלן פון די קיל וואַסער פון די ציל.
–דער אַרטיקל איז ארויסגעגעבן דורךוואַקוום קאָוטינג מאַשין פאַבריקאַנטגואַנגדאָנג זשענהואַ
פּאָסט צייט: 21 דעצעמבער 2023