A. Yuqori otilish tezligi. Masalan, SiO2 ni sochganda, cho'kish tezligi 200nm / min gacha, odatda 10 ~ 100nm / min gacha bo'lishi mumkin.
Va kino hosil bo'lish tezligi yuqori chastotali quvvatga to'g'ridan-to'g'ri proportsionaldir.
B.Plenka va substrat o'rtasidagi yopishqoqlik plyonka qatlamining vakuum bug 'cho'kmasidan kattaroqdir. Bu sodir bo'lgan atomning tanasiga asos bo'lib, taxminan 10eV bo'lgan o'rtacha kinetik energiya bilan bog'liq va plazma substratida qattiq sputtering tozalashga duchor bo'ladi, natijada membrana qatlamidagi teshiklar kamroq bo'ladi, yuqori toza, zich membrana qatlami.
C.Membran materialining keng moslashuvchanligi, metall yoki metall bo'lmagan yoki birikmalar, deyarli barcha materiallar yumaloq plastinkaga tayyorlanishi mumkin, uzoq vaqt davomida ishlatilishi mumkin.
D.Substrat shakliga qo'yiladigan talablar talabchan emas. Substratning notekis yuzasi yoki kengligi 1 mm dan kam bo'lgan kichik yoriqlar mavjudligi ham plyonkaga sepilishi mumkin.
Radiochastotani purkash qoplamasini qo'llash Yuqoridagi xususiyatlarga asoslanib, radiochastotani purkash bilan yotqizilgan qoplama hozirda kengroq qo'llaniladi, ayniqsa integral mikrosxemalarni tayyorlashda va dielektrik funktsiyali plyonka ayniqsa keng qo'llaniladi. Masalan, RF püskürtülmesi bilan to'plangan o'tkazgich bo'lmagan va yarim o'tkazgichli materiallar, shu jumladan elementlar: yarim o'tkazgich Si va Ge, aralash materiallar GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, yuqori haroratli yarim o'tkazgichlar SiC, temir-elektrik birikmalar B14T3O2O2, gazlashtirish ob'ekti Al, Al302, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, shisha, plastmassa va boshqalar.
Agar qoplama kamerasiga bir nechta nishon qo'yilgan bo'lsa, bir vaqtning o'zida vakuumni yo'q qilmasdan, bir xil kamerada ko'p qatlamli plyonka tayyorlashni yakunlash ham mumkin. Disulfid qoplamasini tayyorlash uchun ichki va tashqi halqalarni yotqizish uchun maxsus elektrodli radiochastota qurilmasi 11,36 MGts chastotali, maqsadli kuchlanish 2 ~ 3 kV, umumiy quvvati 12 kVt, magnit induksiya kuchining ish diapazoni 0,008 T, vakum kamerasida ishlatiladigan asbob-uskunalar misolidir. 6,5X10-4Pa. yuqori va past cho'kma darajasi. Bundan tashqari, RF püskürtme quvvatidan foydalanish samaradorligi past va katta miqdordagi quvvat maqsadning sovutish suvidan yo'qolgan issiqlikka aylanadi.
- Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Yuborilgan vaqt: 21-dekabr 2023-yil