آر ایف سپٹرنگ کوٹنگ کی اہم خصوصیات

A. تیز پھونکنے کی شرح۔ مثال کے طور پر، SiO2 کو پھٹتے وقت، جمع کرنے کی شرح 200nm/منٹ تک ہو سکتی ہے، عام طور پر 10~100nm/min تک۔

اور فلم کی تشکیل کی شرح اعلی تعدد طاقت کے براہ راست متناسب ہے۔

B. فلم اور سبسٹریٹ کے درمیان چپکنے والی فلم پرت کے ویکیوم بخارات کے جمع ہونے سے زیادہ ہے۔ یہ تقریبا 10eV کی واقعہ ایٹم اوسط حرکی توانائی کے جسم کی بنیاد کی وجہ سے ہے، اور پلازما سبسٹریٹ میں جھلی کی پرت، اعلی طہارت، گھنے جھلی پرت میں کم pinholes کے نتیجے میں سخت sputtering صفائی کا نشانہ بنایا جائے گا.

C. جھلی کے مواد کی وسیع موافقت، یا تو دھاتی یا غیر دھاتی یا مرکبات، تقریباً تمام مواد کو گول پلیٹ میں تیار کیا جا سکتا ہے، طویل عرصے تک استعمال کیا جا سکتا ہے۔

D. سبسٹریٹ کی شکل کے لیے تقاضے کا مطالبہ نہیں کیا جا رہا ہے۔ سبسٹریٹ کی ناہموار سطح یا 1 ملی میٹر سے کم چوڑائی والے چھوٹے دروں کی موجودگی کو بھی فلم میں پھوٹا جا سکتا ہے۔

ریڈیو فریکوئنسی سپٹرنگ کوٹنگ کا اطلاق مندرجہ بالا خصوصیات کی بنیاد پر، ریڈیو فریکوئنسی سپٹرنگ کے ذریعے جمع کی جانے والی کوٹنگ اس وقت زیادہ وسیع پیمانے پر استعمال ہوتی ہے، خاص طور پر انٹیگریٹڈ سرکٹس اور ڈائی الیکٹرک فنکشن فلم کی تیاری میں خاص طور پر بڑے پیمانے پر استعمال ہوتی ہے۔ مثال کے طور پر، نان کنڈکٹر اور سیمی کنڈکٹر مواد جو RF سپٹرنگ کے ذریعے جمع کیے گئے ہیں، بشمول عناصر: سیمی کنڈکٹر Si اور Ge، کمپاؤنڈ میٹریل GsAs، GaSb، GaN، InSb، InN، AIN، CaSe، Cds، PbTe، ہائی ٹمپریچر سیمی کنڈکٹرز SiC، فیرو الیکٹرک کمپاؤنڈز B124O گیس، فیرو الیکٹرک کمپاؤنڈز، B124O گیس SiO2، Al203، Y203، TiO2، ZiO2، SnO2، PtO، HfO2، Bi2O2، ZnO2، CdO، گلاس، پلاسٹک، وغیرہ۔

اگر کوٹنگ چیمبر میں کئی اہداف رکھے جائیں تو ایک ہی وقت میں ویکیوم کو تباہ کیے بغیر ایک ہی چیمبر میں ملٹی لیئر فلم کی تیاری مکمل کرنا بھی ممکن ہے۔ ڈسلفائیڈ کوٹنگ کی تیاری کے لیے اندرونی اور بیرونی حلقوں کو برداشت کرنے کے لیے وقف شدہ الیکٹروڈ ریڈیو فریکوئنسی ڈیوائس 11.36MHz کی ریڈیو فریکوئنسی سورس فریکوئنسی میں استعمال ہونے والے آلات کی ایک مثال ہے، 2 ~ 3kV کا ہدف وولٹیج، 12kW کی کل طاقت، مقناطیسی انڈکشن طاقت کی ورکنگ رینج کی حد 11.36MHz، 800m کی مقناطیسی انڈکشن طاقت۔ ویکیوم 6.5X10-4Pa ہے۔ اعلی اور کم جمع کی شرح. مزید یہ کہ، RF سپٹرنگ پاور کے استعمال کی کارکردگی کم ہے، اور طاقت کی ایک بڑی مقدار گرمی میں تبدیل ہو جاتی ہے، جو ہدف کے ٹھنڈے پانی سے ضائع ہو جاتی ہے۔

-یہ مضمون کی طرف سے جاری کیا گیا ہےویکیوم کوٹنگ مشین بنانے والاگوانگ ڈونگ زینہوا