A. يۇقىرى سۈركىلىش نىسبىتى. مەسىلەن ، SiO2 نى تارقاتقاندا ، چۆكۈش نىسبىتى مىنۇتىغا 200nm / min غا يېتىدۇ ، ئادەتتە مىنۇتىغا 10 ~ 100nm غا يېتىدۇ.
ئۇنىڭ ئۈستىگە كىنونىڭ شەكىللىنىش نىسبىتى يۇقىرى چاستوتا كۈچى بىلەن بىۋاسىتە ماس كېلىدۇ.
B. فىلىم بىلەن ئاستىرتاشنىڭ يېپىشقاقلىقى كىنو قەۋىتىنىڭ ۋاكۇئۇم ھور چۆكمىسىدىن چوڭ. بۇ ھادىسىنىڭ تېنىدىكى ئاتومنىڭ ئوتتۇرىچە ھەرىكەت ئېنېرگىيىسى تەخمىنەن 10eV ئەتراپىدا بولۇپ ، پلازما ئاستى قىسمىدا قاتتىق داغ تازىلاشقا ئۇچرايدۇ ، نەتىجىدە پەردە قەۋىتىدىكى ئازگال ئاز ، ساپلىقى يۇقىرى ، قويۇق پەردە قەۋىتى بولىدۇ.
C. پەردە ماتېرىيالىنىڭ كەڭ ماسلىشىشچانلىقى مېتال ياكى مېتال ئەمەس ياكى بىرىكمە ماتېرىياللارنىڭ ھەممىسىنى دېگۈدەك يۇمىلاق تەخسىگە تەييارلىغىلى بولىدۇ ، ئۇزۇن ۋاقىت ئىشلەتكىلى بولىدۇ.
D. تارماقنىڭ شەكلىگە قويۇلغان تەلەپ تەلەپ قىلىنمايدۇ. يەر ئاستى قىسمىنىڭ تەكشى ئەمەسلىكى ياكى كەڭلىكى 1 مىللىمېتىردىن كىچىك بولغان كىچىك يېرىقلارنىڭ بارلىقىمۇ فىلىمگە پۈركۈلىدۇ.
رادىئو چاستوتىلىق پۈركۈش قەۋىتىنى ئىشلىتىش يۇقارقى ئالاھىدىلىكلەرگە ئاساسەن ، رادىئو چاستوتىلىق پۈركۈش ئارقىلىق ئامانەت قويۇلغان سىر ھازىر كەڭ كۆلەمدە ئىشلىتىلدى ، بولۇپمۇ توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ۋە دىئېلېكترىك فۇنكسىيەلىك پىلاستىنكا تەييارلاشتا ئالاھىدە كەڭ قوللىنىلىدۇ. مەسىلەن ، RF پۈركۈگۈچ ئارقىلىق ساقلانغان ئۆتكۈزگۈچ ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىياللار ، مەسىلەن: يېرىم ئۆتكۈزگۈچ Si ۋە Ge ، بىرىكمە ماتېرىياللار GsAs ، GaSb ، GaN ، InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe ، يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق يېرىم ئۆتكۈزگۈچ SiC ، فېرمېنت ئېلېكتر ئېنېرگىيىسى B20T3O12 TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, ئەينەك ، سۇلياۋ قاتارلىقلار.
ئەگەر سىرلاش ئۆيىگە بىر قانچە نىشان قويۇلسا ، ۋاكۇئۇمنى بىراقلا بۇزماي تۇرۇپ ، ئوخشاش كامېردا كۆپ قەۋەتلىك پىلاستىنكا تەييارلاشنى تاماملىغىلى بولىدۇ. دىسفىللىق سىرنى تەييارلاش ئۈچۈن ئىچكى ۋە تاشقى ھالقىلارنى كۆتۈرۈشكە بېغىشلانغان ئېلېكترود رادىئو چاستوتا ئۈسكۈنىسى رادىئو چاستوتا مەنبە چاستوتىسى 11.36MHz ، نىشان توك بېسىمى 2 ~ 3kV ، ئومۇمىي قۇۋۋىتى 12kW ، ماگنىتلىق ئىندۇكسىيە كۈچى 0.008T ، ۋاكۇئۇم كامېر ۋاكۇئۇمنىڭ چېكى 6.5X10-4Pa. يۇقىرى ۋە تۆۋەن چۆكۈش نىسبىتى. ئۇنىڭ ئۈستىگە ، ئەركىن ئاسىيا رادىئوسىنىڭ پارچىلىنىش كۈچىدىن پايدىلىنىش ئۈنۈمى تۆۋەن بولۇپ ، زور مىقداردىكى توك ئىسسىققا ئايلىنىدۇ ، بۇ نىشاننىڭ سوۋۇتۇش سۈيىدىن يوقىلىدۇ.
–بۇ ماقالە ئېلان قىلىندىۋاكۇئۇم سىرلاش ماشىنىسى ئىشلەپچىقارغۇچىگۇاڭدۇڭ جېنخۇا
يوللاش ۋاقتى: 12-ئاينىڭ 21-كۈنىدىن 20-كۈنىگىچە