Garşylyk bugarmak çeşmesiniň örtügi wakuum bugarmagyň esasy usulydyr. “Bugarmak” wakuum kamerasyndaky örtük materialy gyzdyrylýar we buglanýar, material atomlary ýa-da molekulalary bugaryp, ýerden gaçyp, bug akymy hadysasyny, substratyň ýa-da substratyň üstünde bolup, ahyrsoňy berk film döretmek üçin kondensirlenen inçe film taýýarlamak usulyna degişlidir.
Garşylyk bugarmak çeşmesiniň örtük usuly diýilýän zat, bugarmak üçin materiallar bilen ýüklenen bugarmak çeşmesiniň degişli görnüşini döretmek üçin tantal, molibden, volfram we beýleki ýokary eriş nokatlaryndan peýdalanmak, buglanjak materiallary gönüden-göni gyzdyrmak we bugarmak, ýa-da bugarmak oksidine bugarmak üçin beýleki materiallardyr. Bu garşylygy ýylatmagyň bugarmak usulydyr.
Thewakuum bugarýan örtük maşyngarşylyk gyzdyryjy bilen gyzdyrylýan we bugarmak ýönekeý gurluşyň, arzan bahaly we ygtybarly ulanmagyň artykmaçlyklaryna eýedir. Pes ereýän nokady bolan materiallaryň bugarmak örtügi, esasanam örtügiň hiline pes talaplary bolan köpçülikleýin önümçilik üçin ulanylyp bilner. Häzirki wagta çenli alýuminizirlenen aýnalary öndürmekde ulanylýan garşylykly ýyladyş we bugarmak ýaly köp sanly örtük prosesi bar.
Garşylyk bugarmak çeşmesiniň bugarmak örtük usulynyň kemçilikleri, ýyladyş arkaly ýetip boljak iň ýokary temperaturanyň çäklidigi we gyzdyryjynyň iş möhletiniň hem gysga bolmagydyr. Soňky ýyllarda garşylyk bugarmak çeşmesiniň ömrüni gowulandyrmak üçin enjamlar zawody, bug nitridi bilen uzak ömri bilen sintezlenýän geçiriji keramiki materialy bugarmagyň çeşmesi hökmünde kabul etdi. Japaneseaponiýanyň patent hasabatyna görä, bugarmak çeşmesini (wajyp) etmek üçin 20% ~ 30% bor nitridinden we refrakter materiallardan peýdalanyp, ýüzüni 62% ~ 82% bolan sirkon gatlagy bilen örtüp biler, galanlary sirkonium-kremniý garyndy materiallary.
Iş wagty: 22-2023-nji aprel