Wakuum örtük ulgamlarynda wakuum nasoslary möhüm rol oýnaýar. Olar örtük prosesleri üçin zerur bolan ýokary wakuum gurşawyny gazanmak üçin möhüm bölekler bolup, örtük netijeliligine, plýonkanyň hiline we önümçilik hasyllylygyna gönüden-göni täsir edýär. Dürli örtük prosesleri dürli wakuum derejesi talaplaryna eýedir, bu bolsa nasosyň dogry saýlanmagyny möhüm edýär. Öňdebaryjy wakuum örtük enjamlaryny öndüriji hökmünde Zhenhua Vacuum esasy wakuum nasoslarynyň görnüşleriniň we olaryň örtük tehnologiýalarynda ulanylyşynyň giňişleýin seljermesini hödürleýär.
Wakuum nasoslarynyň 1-nji klassifikasiýa
Işleýiş prinsiplerine esaslanyp, wakuum nasoslaryny aşakdaky toparlara bölmek mümkin:
1. Mehaniki nasoslar (Öň nasoslar)
Esasan, ulgamlary atmosfera basyşyndan pes wakuuma (10⁻¹ ~ 10⁻³ Pa) çykarmak üçin ulanylýar, adatça ýokary wakuum nasoslary üçin goldaw nasoslary hökmünde hyzmat edýär.
Aýlanýan Pnewmatiki Nasoslar: Ykjam dizaýn, aňsat tehniki hyzmat, kiçi göwrümli örtük ulgamlary üçin amatly.
Gury wintli nasoslar: Ýagsyz işleýiş, ýokary arassalyk talaplary bolan arassa wakuum ulgamlary üçin ideal.
2. Turbomolekulýar Nasoslar (Ýokary Wakuum Nasoslary)
PVD (Fiziki bug çökündisi) we CVD (Himiki bug çökündisi) prosesleri üçin köplenç mehaniki nasoslar bilen utgaşdyrylan ultra ýokary wakuum (≤10⁻⁶ Pa) gazanmaga ukyply. Olar arassa, durnukly ýokary wakuum şertlerini üpjün edýär, bu bolsa olary ýokary takyklykly örtük ulgamlarynda esasy bölek edýär.
3. Diffuziýa nasoslary
10⁻⁶ Pa-a ýetmäge ukyply bolsa-da, olaryň nebit buglary bilen hapalanmagy optiki örtüklerde we beýleki ýokary arassalykly ulanylyşlarda ulanylmagyny çäklendirýär. Senagat örtük ulgamlarynda turbomolekulýar nasoslar bilen barha köp çalşyrylýar.
4. Roots nasoslary (güýçlendiriji nasoslar)
Orta wakuum tapgyrynda aýlanýan pervaneli nasoslar bilen köplenç nasos tizligini ýokarlandyrmak we örtükden öň nasosyň işleme wagtyny azaltmak üçin ulanylýar.
5. Turbo molekulýar nasoslar
Ýokary nasos tizligi we durnukly işlemegi bilen tanalýan olar üznüksiz önümçiligi talap edýän ýarymgeçiriji, optiki we lukmançylyk örtük ulanylyşlarynda giňden ulanylýar.
Wakuum örtüginde №2 ulanylyş senariýleri
Örtükleriň dürli tapgyrlarynda dürli wakuum nasos konfigurasiýalary ulanylýar:
Ilkinji Nasoslama Tapgyry: Mehaniki nasoslar (meselem, aýlanýan pervanel, gurak nasoslar) kameranyň basyşyny çalt peseldýär.
Orta Wakuum Tapgyry: Kök nasoslary ewakuasiýa netijeliligini ýokarlandyrýar.
Ýokary Wakuumly Tapgyr: Turbomolekulýar/Turbo nasoslar zerur ýokary wakuumly gurşawy döredýär.
Ýörite örtük prosesleri: Magnetron püskürtmesi we E-şöhle buharlandyrmasy plýonkanyň arassalygyny üpjün etmek üçin ýagsyz ulgamlary ýa-da ýokary öndürijilikli gurak nasoslary talap edýär.
Nasos saýlananda, belli bir wakuum derejesi we arassaçylyk talaplaryna laýyk gelmek üçin materialyň görnüşini, işleýiş temperaturasyny, plýonkanyň galyňlygyny we ulgamyň göwrümini göz öňünde tutmaly.
№3 Optimal Wakuum Nasos Ulgamyny Saýlamak
Ideal wakuum nasos ulgamy aşakdaky aýratynlyklary öz içine almalydyr:
Nasos tizligi kameranyň göwrümine laýyk gelýär
Maksada ýetmek iň soňky wakuum
Az tehniki hyzmat bilen durnukly işleýiş
Ýagsyz we bölejiksiz iş görkezijisi
Daşky gurşaw we energiýa standartlaryna laýyklyk
Optiki, ýarymgeçiriji ýa-da bezeg örtükleriniň takyk ulanylyşlary üçin üç tapgyrly kombinasiýa (Gury Nasos + Kök Nasosy + Turbomolekulýar Nasos) maslahat berilýär.
Kiçi bolsa-da, wakuum nasoslary wakuum örtük ulgamlary üçin örän möhümdir. Nasoslaryň dogry saýlanmagy we konfigurirlenmegi plýonkanyň hilini, ulgamyň netijeliligini, enjamlaryň ömrüni we çykdajylaryň netijeliligini ýokarlandyrýar. Örtük zerurlyklaryňyza laýyk gelýän wakuum çözgütleri üçin Zhenhua Vacuum bilen habarlaşyň.
-Bu makala çap edildi wakuum örtük maşyny öndüriji Zhenhua sowujy enjamy.
Ýerleşdirilen wagty: 2025-nji ýylyň 14-nji iýuny