Di sîstemên pêçandina valûyê de, pompên valûyê roleke girîng dilîzin. Ew pêkhateyên bingehîn in ji bo bidestxistina hawîrdora valûyê ya bilind a ku ji bo pêvajoyên pêçandinê pêwîst e, û rasterast bandorê li ser karîgeriya pêçandinê, kalîteya fîlmê û berhema hilberînê dikin. Pêvajoyên pêçandinê yên cûda hewcedariyên asta valûyê yên cûda hene, ku hilbijartina pompê ya rast girîng dike. Zhenhua Vacuum, wekî hilberînerek pêşeng a alavên pêçandina valûyê, analîzek berfireh a celebên sereke yên pompên valûyê û sepanên wan ên taybetî di teknolojiyên pêçandinê de peyda dike.
Dabeşkirina No. 1 a Pompeyên Valahîyê
Li gorî prensîba xebitandinê, pompên oksîjenê dikarin wiha werin dabeş kirin:
1. Pompeyên Mekanîkî (Pompeyên Pêşiyê)
Bi piranî ji bo valakirina sîsteman ji zexta atmosferîk bo valahiyek nizm (10⁻¹ ~ 10⁻³ Pa) tê bikar anîn, bi gelemperî wekî pompên piştgiriyê ji bo pompên valahiyek bilind kar dikin.
Pompeyên Pencereya Zivirî: Sêwirana kompakt, lênêrîna hêsan, ji bo pergalên pêçandinê yên piçûk minasib e.
Pompên Pêçên Hişk: Xebata bê rûn, ji bo sîstemên valahiyê yên paqij ên bi hewcedariyên paqijiya bilind îdeal e.
2. Pompeyên Turbomolekuler (Pompeyên Valahiya Bilind)
Dikare valahiyek pir bilind (≤10⁻⁶ Pa) bi dest bixe, pir caran bi pompên mekanîkî re ji bo pêvajoyên PVD (Depozîsyona Buxara Fizîkî) û CVD (Depozîsyona Buxara Kîmyayî) tê hevber kirin. Ew şert û mercên valahiyek bilind a paqij û aram peyda dikin, ku wan dike pêkhateyek bingehîn di pergalên pêçandina rastbûna bilind de.
3. Pompeyên Belavkirinê
Her çend dikarin bigihîjin 10⁻⁶ Pa, qirêjiya buxara rûnê karanîna wan di pêçanên optîkî û sepanên din ên paqijiya bilind de sînordar dike. Di pergalên pêçanên pîşesaziyê de bi pompên turbomolekuler zêdetir têne guheztin.
4. Pompeyên Roots (Pompeyên Zêdekirinê)
Bi gelemperî di qonaxa valahiya navîn de bi pompên perrên rotary re tê bikar anîn da ku leza pompkirinê zêde bike û dema rawestandina pompkirinê berî boyaxkirinê kêm bike.
5. Pompeyên Molekulî yên Turbo
Bi leza pompkirina bilind û xebata stabîl têne zanîn, ew bi berfirehî di sepanên pêçandina nîvconductor, optîkî û bijîşkî de têne bikar anîn ku hewceyê hilberîna domdar in.
Senaryoyên Serlêdanê yên Jimare 2 di Boyaxkirina Valahî de
Di qonaxên cûda yên pêçandinê de, mîhengên pompên valahiyê yên cûda têne bikar anîn:
Qonaxa Destpêkê ya Pompkirinê: Pompên mekanîkî (mînak, pompên zivirî, pompên hişk) zexta odeyê bi lez kêm dikin.
Qonaxa Valahiya Navîn: Pompên Roots bandora valakirinê baştir dikin.
Qonaxa Valahiya Bilind: Pompên Turbomolekuler/Turbo jîngeha valahiyek bilind a pêwîst ava dikin.
Pêvajoyên Pêçandina Taybet: Sputterkirina magnetronê û buharbûna tîrêjên E pergalên bê rûn an pompên hişk ên performansa bilind hewce dike da ku paqijiya fîlmê were misoger kirin.
Hilbijartina pompê divê celebê materyalê, germahiya pêvajoyê, stûriya fîlimê, û qebareya pergalê li ber çavan bigire da ku asta valahiyê û hewcedariyên paqijiyê yên taybetî bicîh bîne.
Jimare 3 Hilbijartina Sîstema Pompa Valahiyê ya Baştirîn
Sîstemeke pompkirina valahiyê ya îdeal divê xwedî taybetmendiyên jêrîn be:
Leza pompê li gorî qebareya odeyê ye
Bidestxistina valahiya dawîn a armanckirî
Operasyona stabîl bi lênêrîna kêm
Performansa bê rûn û bê perçeyan
Lihevhatina bi standardên jîngeh û enerjiyê re
Ji bo sepanên pêçandina optîkî, nîvconductor, an xemilandî yên rast, tevlîheviyek sê-qonaxî (Pompaya Hişk + Pompaya Roots + Pompaya Turbomolekular) tê pêşniyar kirin.
Her çend pompên valahiyê piçûk bin jî, ji bo pergalên pêçandina valahiyê girîng in. Hilbijartin û vesazkirina pompê ya rast kalîteya fîlmê, karîgeriya pergalê, temenê alavan û lêçûn-bandor zêde dike. Ji bo çareseriyên valahiyê yên xwerû yên ku li gorî hewcedariyên we yên pêçandinê hatine çêkirin, bi Zhenhua Vacuum re têkilî daynin.
- Ev gotar ji hêla ... ve hatiye weşandin çêkerê makîneya boyaxkirina valahiyê Zhenhua Valahî.
Dema şandinê: 14ê Hezîrana 2025an