Nínú àwọn ètò ìbòrí ìbòrí ìbòrí ìbòrí, àwọn ẹ̀rọ ìbòrí ìbòrí kó ipa pàtàkì. Wọ́n jẹ́ àwọn èròjà pàtàkì fún àṣeyọrí àyíká ìbòrí gíga tí a nílò fún àwọn ìlànà ìbòrí, ní ipa taara lórí iṣẹ́ ìbòrí ìbòrí, dídára fíìmù, àti ìṣẹ̀dá rẹ̀. Àwọn ìlànà ìbòrí onírúurú ní onírúurú ìbéèrè ìbòrí ìbòrí, èyí tí ó mú kí yíyan ẹ̀rọ ìbòrí ìbòrí tó yẹ ṣe pàtàkì. Gẹ́gẹ́ bí olùpèsè ohun èlò ìbòrí ìbòrí ìbòrí olórí, Zhenhua Vacuum ń pèsè ìwádìí pípéye nípa àwọn irú ẹ̀rọ ìbòrí ìbòrí pàtàkì àti àwọn ìlò pàtó wọn nínú àwọn ìmọ̀-ẹ̀rọ ìbòrí.
Ìsọ̀rí 1 ti Àwọn Pọ́ọ̀ǹpù Afẹ́fẹ́
Da lori awọn ilana iṣiṣẹ, awọn fifa afẹfẹ le pin si awọn atẹle:
1. Àwọn Pọ́ọ̀ǹpù Mẹ́kínẹ́kì (Àwọn Pọ́ọ̀ǹpù Ṣáájú)
A maa n lo o ni akọkọ lati yọ awọn eto kuro lati titẹ oju-aye si afẹfẹ kekere (10⁻¹ ~ 10⁻³ Pa), ti o maa n ṣiṣẹ gẹgẹbi awọn fifa ẹhin fun awọn fifa afẹfẹ giga.
Àwọn Pọ́ọ̀ǹpù Rotary Vane: Apẹrẹ kékeré, ìtọ́jú tó rọrùn, ó dára fún àwọn ètò ìbòrí kékeré.
Àwọn Pọ́ọ̀ǹpù Ṣẹ́ẹ̀lì Gbígbẹ: Iṣẹ́ tí kò ní epo, ó dára fún àwọn ètò ìfọ́mọ́ mímọ́ pẹ̀lú àwọn ohun tí ó yẹ fún ìwẹ̀nùmọ́ gíga.
2. Àwọn Pọ́ọ̀ǹpù Túbọ̀mọ́lẹ́kì (Àwọn Pọ́ọ̀ǹpù Túbọ̀mọ́lẹ́kì Gíga)
Ó lè ṣe àṣeyọrí ìgbálẹ̀ gíga (≤10⁻⁶ Pa), tí a sábà máa ń so pọ̀ mọ́ àwọn ẹ̀rọ ìfọ́mọ́ fún àwọn iṣẹ́ PVD (Physical Vapor Deposition) àti CVD (Chemical Vapor Deposition). Wọ́n ń pèsè àwọn ipò ìgbálẹ̀ gíga tí ó mọ́ tónítóní, tí ó sì dúró ṣinṣin, èyí tí ó sọ wọ́n di apá pàtàkì nínú àwọn ètò ìbòrí gíga.
3. Àwọn Pọ́ọ̀ǹpù Ìfọ́nká
Bó tilẹ̀ jẹ́ pé ó lè dé 10⁻⁶ Pa, ìbàjẹ́ epo wọn dín lílò wọn kù nínú àwọn ìbòrí opitika àti àwọn ohun èlò míràn tó mọ́ tónítóní. Wọ́n ń fi àwọn ẹ̀rọ ìbòrí turbomolecular rọ́pò wọn sí i nínú àwọn ètò ìbòrí ilé iṣẹ́.
4. Àwọn Pọ́ọ̀ǹpù Gbòǹgbò (Àwọn Pọ́ọ̀ǹpù Gbòǹgbò)
A maa n lo o pelu awon fifa vane rotary nigba ipele alabọde lati mu iyara fifa soke pọ si ati dinku akoko fifa soke ṣaaju ki a to bo.
5. Àwọn Pọ́ọ̀ǹpù Mọ́lẹ́kúlà Turbo
A mọ̀ wọ́n fún iyàrá fífọ́ omi gíga àti iṣẹ́ tí ó dúró ṣinṣin, a ń lò wọ́n ní ibi púpọ̀ nínú àwọn ohun èlò ìbòrí semiconductor, optical, àti ìṣègùn tí ó nílò ìṣẹ̀dá tí ń bá a lọ.
Awọn oju iṣẹlẹ lilo No.2 ninu Aṣọ Amule
Oríṣiríṣi àwọn ìṣètò fifa omi ìgbálẹ̀ ni a lò ní oríṣiríṣi àwọn ìpele ìbòrí:
Ipele Pípọ́n Àkọ́kọ́: Àwọn pípọ́n ẹ̀rọ (fún àpẹẹrẹ, rotary vane, dry pumps) máa ń dín ìfúnpá yàrá kù kíákíá.
Ipele Alabọde-Afẹmi: Awọn fifa gbongbo mu ilọsiwaju ti gbigbe kuro ni ile-iṣẹ dara si.
Ipele Agbara Giga: Awọn fifa Turbomolecular/Turbo n ṣe agbekalẹ agbegbe agbara giga ti a nilo.
Àwọn Ìlànà Àmì Pàtàkì: Ìfọ́ Magnẹ́ntron àti ìfọ́ E-beam nílò àwọn ètò tí kò ní epo tàbí àwọn ẹ̀rọ gbígbẹ tí ó ní iṣẹ́ gíga láti rí i dájú pé fíìmù mọ́.
Yiyan fifa gbọdọ gbero iru ohun elo, iwọn otutu ilana, sisanra fiimu, ati iwọn didun eto lati pade ipele igbale kan pato ati awọn ibeere mimọ.
No.3 Yiyan Eto Pump Vacuum Ti o dara julọ
Eto fifa fifa afẹfẹ ti o dara julọ yẹ ki o ni:
Iyara fifa soke baamu iwọn didun yara
Aṣeyọri ti ibi-afẹde ipari igbale
Iṣiṣẹ iduroṣinṣin pẹlu itọju kekere
Iṣẹ ti ko ni epo ati ti ko ni patikulu
Ibamu pẹlu awọn iṣedede ayika ati agbara
Fún àwọn ohun èlò ìbòrí opitika, semiconductor, tàbí ohun ọ̀ṣọ́, a gbani nímọ̀ràn láti lo àpapọ̀ ìpele mẹ́ta (Dry Pump + Roots Pump + Turbomolecular Pump).
Bó tilẹ̀ jẹ́ pé àwọn ẹ̀rọ ìfọṣọ kò pọ̀, wọ́n ṣe pàtàkì fún àwọn ẹ̀rọ ìfọṣọ kò ní ìwúwo. Yíyan àti ìṣètò tó péye mú kí fíìmù náà dára síi, ó ń mú kí ètò náà ṣiṣẹ́ dáadáa, ó ń lo àkókò ẹ̀rọ náà, ó sì ń jẹ́ kí owó rẹ̀ pọ̀ sí i. Kàn sí Zhenhua Vacuum fún àwọn àtúnṣe ìfọṣọ tó bá àìní ìfọṣọ rẹ mu.
-A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́ àwọn olùgbékalẹ̀ rẹ̀ ẹrọ fifọ ideri igbale Zhenhua Vacuum.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹfà-14-2025