Trong các hệ thống phủ chân không, bơm chân không đóng vai trò cực kỳ quan trọng. Chúng là thành phần thiết yếu để tạo ra môi trường chân không cao cần thiết cho các quy trình phủ, ảnh hưởng trực tiếp đến hiệu quả phủ, chất lượng màng và năng suất sản xuất. Các quy trình phủ khác nhau có yêu cầu về mức độ chân không khác nhau, do đó việc lựa chọn bơm phù hợp là rất quan trọng. Là nhà sản xuất thiết bị phủ chân không hàng đầu, Zhenhua Vacuum cung cấp phân tích toàn diện về các loại bơm chân không chính và các ứng dụng cụ thể của chúng trong công nghệ phủ.
Phân loại số 1 các loại bơm chân không
Dựa trên nguyên lý hoạt động, máy bơm chân không có thể được phân loại như sau:
1. Bơm cơ khí (Bơm sơ cấp)
Chủ yếu được sử dụng để hút chân không từ áp suất khí quyển xuống chân không thấp (10⁻¹ ~ 10⁻³ Pa), thường đóng vai trò là máy bơm hỗ trợ cho máy bơm chân không cao.
Bơm cánh quay: Thiết kế nhỏ gọn, dễ bảo trì, phù hợp với các hệ thống sơn phủ quy mô nhỏ.
Bơm trục vít khô: Hoạt động không cần dầu bôi trơn, lý tưởng cho các hệ thống chân không sạch với yêu cầu độ tinh khiết cao.
2. Bơm siêu phân tử (Bơm chân không cao)
Có khả năng tạo ra chân không cực cao (≤10⁻⁶ Pa), thường được kết hợp với bơm cơ khí cho các quy trình PVD (Phương pháp lắng đọng hơi vật lý) và CVD (Phương pháp lắng đọng hơi hóa học). Chúng cung cấp điều kiện chân không cao, sạch sẽ và ổn định, trở thành thành phần cốt lõi trong các hệ thống phủ có độ chính xác cao.
3. Bơm khuếch tán
Mặc dù có khả năng đạt đến áp suất 10⁻⁶ Pa, nhưng sự nhiễm bẩn hơi dầu hạn chế việc sử dụng chúng trong các lớp phủ quang học và các ứng dụng có độ tinh khiết cao khác. Chúng ngày càng được thay thế bằng bơm turbomolecular trong các hệ thống phủ công nghiệp.
4. Bơm rễ (Bơm tăng áp)
Thường được sử dụng với bơm cánh quay trong giai đoạn chân không trung bình để tăng tốc độ bơm và giảm thời gian hút chân không trước khi phủ lớp.
5. Bơm phân tử turbo
Được biết đến với tốc độ bơm cao và hoạt động ổn định, chúng được sử dụng rộng rãi trong các ứng dụng phủ bán dẫn, quang học và y tế đòi hỏi sản xuất liên tục.
Số 2. Các kịch bản ứng dụng trong phủ chân không
Các cấu hình bơm chân không khác nhau được sử dụng ở các giai đoạn phủ khác nhau:
Giai đoạn bơm ban đầu: Các máy bơm cơ học (ví dụ: máy bơm cánh quay, máy bơm khô) nhanh chóng làm giảm áp suất trong buồng.
Giai đoạn chân không trung bình: Bơm Roots cải thiện hiệu quả hút chân không.
Giai đoạn chân không cao: Bơm turbomolecular/turbo tạo ra môi trường chân không cao cần thiết.
Các quy trình phủ đặc biệt: Phương pháp lắng đọng phún xạ magnetron và bay hơi chùm tia điện tử đòi hỏi hệ thống không dầu hoặc bơm khô hiệu suất cao để đảm bảo độ tinh khiết của màng phim.
Việc lựa chọn bơm phải xem xét loại vật liệu, nhiệt độ quá trình, độ dày màng và thể tích hệ thống để đáp ứng các yêu cầu cụ thể về mức độ chân không và độ sạch.
Số 3. Lựa chọn hệ thống bơm chân không tối ưu.
Một hệ thống bơm chân không lý tưởng cần có các đặc điểm sau:
Tốc độ bơm được điều chỉnh phù hợp với thể tích buồng
Đạt được mục tiêu chân không tối ưu
Hoạt động ổn định với chi phí bảo trì thấp.
Hiệu suất không dầu và không hạt
Tuân thủ các tiêu chuẩn về môi trường và năng lượng
Đối với các ứng dụng quang học, bán dẫn hoặc phủ trang trí đòi hỏi độ chính xác cao, nên sử dụng hệ thống ba cấp (Bơm khô + Bơm Roots + Bơm turbomolecular).
Mặc dù nhỏ gọn, máy bơm chân không đóng vai trò thiết yếu trong hệ thống phủ chân không. Việc lựa chọn và cấu hình máy bơm phù hợp sẽ nâng cao chất lượng màng phủ, hiệu quả hệ thống, tuổi thọ thiết bị và tính tiết kiệm chi phí. Hãy liên hệ với Zhenhua Vacuum để được tư vấn các giải pháp chân không tùy chỉnh phù hợp với nhu cầu phủ màng của bạn.
-Bài viết này được phát hành bởi Nhà sản xuất máy phủ chân không Máy hút bụi Zhenhua.
Thời gian đăng bài: 14/06/2025