Во системите за вакуумско премачкување, вакуумските пумпи играат клучна улога. Тие се основни компоненти за постигнување на средина со висок вакуум потребна за процесите на премачкување, директно влијаејќи врз ефикасноста на премачкувањето, квалитетот на филмот и приносот на производството. Различните процеси на премачкување имаат различни барања за ниво на вакуум, што го прави правилниот избор на пумпа клучен. Како водечки производител на опрема за вакуумско премачкување, Zhenhua Vacuum обезбедува сеопфатна анализа на главните типови вакуумски пумпи и нивните специфични примени во технологиите за премачкување.
Бр. 1 Класификација на вакуумски пумпи
Според принципот на работа, вакуумските пумпи се поделени на:
1. Механички пумпи (предни пумпи)
Првенствено се користи за евакуација на системи од атмосферски притисок до низок вакуум (10⁻¹ ~ 10⁻³ Pa), обично служи како помошни пумпи за пумпи со висок вакуум.
Ротациони пумпи со крила: Компактен дизајн, лесно одржување, погодни за системи за премачкување во мал обем.
Суви завртки пумпи: Работа без масло, идеална за чисти вакуумски системи со високи барања за чистота.
2. Турбомолекуларни пумпи (пумпи со висок вакуум)
Способни за постигнување на ултра-висок вакуум (≤10⁻⁶ Pa), често спарени со механички пумпи за PVD (физичко таложење на пареа) и CVD (хемиско таложење на пареа) процеси. Тие обезбедуваат чисти, стабилни услови на висок вакуум, што ги прави основна компонента во високопрецизните системи за премачкување.
3. Дифузиони пумпи
Иако се способни да достигнат 10⁻⁶ Pa, нивното загадување со маслени пареи ја ограничува нивната употреба во оптички премази и други апликации со висока чистота. Сè повеќе се заменуваат со турбомолекуларни пумпи во индустриските системи за премачкување.
4. Рутс пумпи (бустер пумпи)
Најчесто се користи со ротациони пумпи со крила за време на фазата на среден вакуум за да се зголеми брзината на пумпање и да се намали времето на прекин на пумпањето пред премачкувањето.
5. Турбо молекуларни пумпи
Познати по високите брзини на пумпање и стабилното работење, тие се широко користени во полупроводнички, оптички и медицински апликации за премачкување што бара континуирано производство.
Бр. 2 Сценарија за примена во вакуумско премачкување
Во различни фази на обложување се користат различни конфигурации на вакуумски пумпи:
Почетна фаза на пумпање: Механичките пумпи (на пр., ротациона крила, суви пумпи) брзо го намалуваат притисокот во комората.
Фаза на среден вакуум: пумпите за корен ја подобруваат ефикасноста на евакуацијата.
Фаза на висок вакуум: Турбомолекуларните/турбо пумпи ја воспоставуваат потребната средина со висок вакуум.
Специјални процеси на премачкување: Магнетронското распрскување и испарувањето со Е-зрак бараат системи без масло или високо-ефикасни суви пумпи за да се обезбеди чистота на филмот.
При изборот на пумпа мора да се земе предвид видот на материјалот, температурата на процесот, дебелината на филмот и волуменот на системот за да се задоволат специфичните барања за ниво на вакуум и чистота.
Бр. 3 Избор на оптимален систем на вакуумска пумпа
Идеален систем за вакуумско пумпање треба да има:
Брзината на пумпање е усогласена со волуменот на комората
Постигнување на целниот краен вакуум
Стабилно работење со ниско одржување
Перформанси без масло и честички
Усогласеност со еколошките и енергетските стандарди
За прецизни оптички, полупроводнички или декоративни премази, се препорачува комбинација од три фази (сува пумпа + пумпа Roots + турбомолекуларна пумпа).
Иако се компактни, вакуум пумпите се од витално значење за системите за вакуумско премачкување. Правилниот избор и конфигурација на пумпата го подобруваат квалитетот на филмот, ефикасноста на системот, животниот век на опремата и економичноста. Контактирајте ја Zhenhua Vacuum за прилагодени вакуумски решенија прилагодени на вашите потреби за премачкување.
- Оваа статија е објавена од производител на машина за вакуумско обложување Вакуум Женхуа.
Време на објавување: 14 јуни 2025 година